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《微电子学》 2006年04期
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RF MEMS器件驱动机制理论与分析

南敬昌  刘元安  黎淑兰  
【摘要】:介绍了驱动机制在RF MEMS器件制作中所处的地位。以悬梁类型的RF MEMS开关为例,介绍了RF MEMS器件的各种驱动方式,给出了其原理结构图;详细分析了静电驱动、压电驱动、热驱动和磁驱动的原理。对各种驱动机制进行了比较和分析,得出应根据不同场合和不同参数要求,选择不同驱动机制的驱动器。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根庆,陆卫;悬臂式RF MEMS开关的设计与研制[J];半导体学报;2003年11期
2 张永华,丁桂甫,赵小林,马骏,蔡炳初;电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计[J];上海交通大学学报;2004年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 雷啸锋,刘泽文,宣云,韦嘉,李志坚,刘理天;一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作[J];半导体学报;2005年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 于尚民;MEMS静电驱动结构运动特性控制方法[D];北京邮电大学;2007年
2 谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
3 唐洁;压电微悬臂梁传感技术的研究[D];天津大学;2005年
4 宋孝勇;微结构振动特性的自由衰减测试方法[D];天津大学;2006年
5 王忠顺;压电微悬臂梁共振检测系统的研究[D];天津大学;2006年
6 赵倩云;微悬臂梁品质因数Q控制技术的研究[D];天津大学;2006年
7 张文波;大挠度屈曲理论的试验验证[D];西安电子科技大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 张永华,丁桂甫,赵小林,马骏,蔡炳初;电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计[J];上海交通大学学报;2004年05期
2 郝一龙,贾玉斌;谐振加速度计的非线性分析[J];纳米技术与精密工程;2003年01期
【二级参考文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 初建朋;郭方敏;赖宗声;;MEMS接触式开关的计算机模拟[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 缪旻 ,武国英;RF MEMS器件的研究及其应用前景[J];电子产品世界;2003年09期
2 付佳辉,吴群,顾学迈,秦月梅;射频MEMS封装技术[J];电子器件;2004年01期
3 夏牟;郝达兵;;RF MEMS的关键技术与器件[J];电子与封装;2006年01期
4 南敬昌;刘元安;黎淑兰;;RF MEMS器件驱动机制理论与分析[J];微电子学;2006年04期
5 金博识;吴群;贺训军;唐恺;杨国辉;Lee Jong-Chul;;一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计[J];传感技术学报;2006年05期
6 李丽;张志国;赵正平;郭文胜;;RF MEMS压控振荡器的研制及相位噪声特性研究[J];传感技术学报;2006年05期
7 黄继伟;王志功;;单刀双掷RF MEMS开关的研究与设计[J];半导体学报;2007年04期
8 胡光伟;刘泽文;侯智昊;李志坚;;一种低驱动电压的SP4T RF MEMS开关[J];传感技术学报;2008年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 朱健;;RF MEMS国内外的发展趋势及我国的发展对策[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 邢向龙;新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
2 周玉娇;新型集成方式RF MEMS开关[D];北京邮电大学;2006年
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