RF MEMS器件驱动机制理论与分析

【摘要】：介绍了驱动机制在RF MEMS器件制作中所处的地位。以悬梁类型的RF MEMS开关为例,介绍了RF MEMS器件的各种驱动方式,给出了其原理结构图;详细分析了静电驱动、压电驱动、热驱动和磁驱动的原理。对各种驱动机制进行了比较和分析,得出应根据不同场合和不同参数要求,选择不同驱动机制的驱动器。

【作者单位】：北京邮电大学电信工程学院北京邮电大学电信工程学院北京邮电大学电信工程学院
【分类号】：TN401

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【参考文献】
	【参考文献】

中国期刊全文数据库

前2条

1	郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根庆,陆卫;悬臂式RF MEMS开关的设计与研制[J];半导体学报;2003年11期
2	张永华,丁桂甫,赵小林,马骏,蔡炳初;电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计[J];上海交通大学学报;2004年05期

	【共引文献】
	【共引文献】

中国期刊全文数据库

前1条

1	雷啸锋,刘泽文,宣云,韦嘉,李志坚,刘理天;一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作[J];半导体学报;2005年07期

中国硕士学位论文全文数据库

前7条

1	于尚民;MEMS静电驱动结构运动特性控制方法[D];北京邮电大学;2007年
2	谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
3	唐洁;压电微悬臂梁传感技术的研究[D];天津大学;2005年
4	宋孝勇;微结构振动特性的自由衰减测试方法[D];天津大学;2006年
5	王忠顺;压电微悬臂梁共振检测系统的研究[D];天津大学;2006年
6	赵倩云;微悬臂梁品质因数Q控制技术的研究[D];天津大学;2006年
7	张文波;大挠度屈曲理论的试验验证[D];西安电子科技大学;2007年

	【同被引文献】
	【同被引文献】

中国期刊全文数据库

前2条

1	张永华,丁桂甫,赵小林,马骏,蔡炳初;电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计[J];上海交通大学学报;2004年05期
2	郝一龙,贾玉斌;谐振加速度计的非线性分析[J];纳米技术与精密工程;2003年01期

	【二级参考文献】
	【二级参考文献】

中国重要会议论文全文数据库

前1条

1	初建朋;郭方敏;赖宗声;;MEMS接触式开关的计算机模拟[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前8条

1	缪旻 ,武国英;RF MEMS器件的研究及其应用前景[J];电子产品世界;2003年09期
2	付佳辉,吴群,顾学迈,秦月梅;射频MEMS封装技术[J];电子器件;2004年01期
3	夏牟;郝达兵;;RF MEMS的关键技术与器件[J];电子与封装;2006年01期
4	南敬昌;刘元安;黎淑兰;;RF MEMS器件驱动机制理论与分析[J];微电子学;2006年04期
5	金博识;吴群;贺训军;唐恺;杨国辉;Lee Jong-Chul;;一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计[J];传感技术学报;2006年05期
6	李丽;张志国;赵正平;郭文胜;;RF MEMS压控振荡器的研制及相位噪声特性研究[J];传感技术学报;2006年05期
7	黄继伟;王志功;;单刀双掷RF MEMS开关的研究与设计[J];半导体学报;2007年04期
8	胡光伟;刘泽文;侯智昊;李志坚;;一种低驱动电压的SP4T RF MEMS开关[J];传感技术学报;2008年04期

中国重要会议论文全文数据库

前1条

1	朱健;;RF MEMS国内外的发展趋势及我国的发展对策[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前2条

1	邢向龙;新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2005年
2	周玉娇;新型集成方式RF MEMS开关[D];北京邮电大学;2006年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡神州行卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62791813 010-62985026	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南