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《微电子学》 2005年06期
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ULSI/VLSI中铝互连线热应力的数值模拟

付厚奎  吴月花  刘志民  郭春生  李志国  程尧海  吉元  崔伟  
【摘要】:对有钝化层与无钝化层的铝互连线的热应力进行了数值模拟,并建立起互连线的二维有限元模型。对无钝化的铝互连线,只考虑弹性行为,其应力随线宽及衬底刚度的增加而增加。对于钝化的铝互连线,对其弹性行为和弹性/理想塑性行为进行了模拟。结果发现,互连线线宽的减小,钝化层硬度的增加,都会使应力增加。与纯弹性线条相比,弹性/理想塑性互连线条中的应力有所减小,且分布更均匀。

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