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《矿冶工程》 1998年03期
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热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析

赵南方  杨巧勤  赵立华  李德意  肖汉宁  
【摘要】:研究了热丝CVD法金刚石薄膜本征内应力随甲烷的体积分数(04%~12%)、生长温度(800℃~1000℃)等生长工艺参数的变化关系。在所研究的工艺参数范围内,金刚石薄膜的本征内应力为拉应力。拉应力值随着碳源浓度的升高近乎呈线性减小;在生长温度为900℃时最小,升高或降低生长温度都会增大。这一变化关系可用薄膜中非金刚石碳含量和晶粒度大小对内应力值的影响进行解释。
【作者单位】中南工业大学粉末冶金研究所 湖南大学材料测试研究中心
【分类号】:TN304.18

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