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《科学技术与工程》 2009年18期
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CVD金刚石薄膜微区孪晶的研究

朱宏喜  鱼敏英  刘玉亮  王强松  
【摘要】:采用扫描电镜观察了金刚石薄膜的表面组织形貌,使用电子背散射衍射(EBSD)技术检测了金刚石薄膜中的微区孪晶界分布。从晶体取向的角度研究了孪晶对金刚石薄膜微观织构影响的机理。结果表明,金刚石薄膜中存在大量孪晶,在薄膜生长过程中孪晶界比例逐渐增加。存在高阶孪晶转变现象,高频率孪晶会影响到薄膜的织构。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 黄元盛,罗承萍,邱万奇;化学气相沉积金刚石薄膜的晶体缺陷和杂质[J];中国表面工程;2004年01期
2 吕反修,唐伟忠,刘敬明,宋建华,佟玉梅,于文秀,李国华,罗廷礼,张永贵,郭辉,孙振路,何其玉;大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备[J];材料研究学报;2001年01期
3 毛卫民;朱宏喜;陈冷;冯惠平;吕反修;;CVD自支撑金刚石薄膜中的宏观织构与微观孪晶[J];无机材料学报;2006年01期
4 朱宏喜;毛卫民;吕反修;李全安;郭辉;;CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究[J];物理测试;2008年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张维加;雷扬;;CVD人造金刚石晶体的异常五重对称现象及研究[J];赤峰学院学报(自然科学版);2010年11期
2 魏秋平;田孟昆;马莉;陈中;刘培植;余志明;;热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响[J];粉末冶金材料科学与工程;2011年02期
3 陈峰武;周灵平;朱家俊;李德意;彭坤;李绍禄;;热丝CVD法制备大面积金刚石薄膜基片的变形[J];机械工程材料;2011年07期
4 姜龙;郭辉;刁习刚;张平伟;孙振路;;CVD金刚石拉丝模花丝成因研究[J];金属制品;2010年03期
5 张湘辉,汪灵,龙剑平,常嗣和,周九根;直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征[J];矿物岩石;2005年03期
6 陈冷;张建升;毛卫民;;CVD金刚石薄膜的织构与显微组织研究[J];科学技术与工程;2007年06期
7 朱宏喜;鱼敏英;刘玉亮;田保红;赵清坡;;孪晶对CVD金刚石薄膜宏观织构组分的影响[J];科学技术与工程;2009年13期
8 朱宏喜;顾超;任凤章;田保红;;CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程[J];科学技术与工程;2011年12期
9 湛玉龙;马志斌;翁国峰;吴建鹏;;基体对金刚石厚膜质量的影响研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年05期
10 朱宏喜;毛卫民;冯惠平;吕反修;Vlasov I I;Ralchenko V G;Khomich A V;;甲烷浓度对CVD金刚石薄膜晶体学生长过程的影响[J];无机材料学报;2007年03期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 陈冷;张建升;毛卫民;;CVD金刚石薄膜的宏观织构与显微组织研究[A];第十一届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2006年
2 张湘辉;汪灵;龙剑平;常嗣和;周九根;;直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征[A];2005年全国矿物科学与工程学术会议论文集[C];2005年
3 唐伟忠;于盛旺;李成明;陈广超;吕反修;;金刚石膜红外光学窗口的化学气相沉积技术[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(上册)[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 谢扩军;金刚石在TWT及MPM中的应用关键技术研究[D];电子科技大学;2008年
2 李多生;大尺寸金刚石厚膜球冠制备机理与工艺研究[D];南京航空航天大学;2008年
3 王鸿翔;红外窗口金刚石透波涂层沉积设备研制与涂层性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 陈真英;碳同素异构体微观结构的正电子研究[D];广西大学;2007年
2 张湘辉;直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜硬质合金刀具制备工艺研究[D];成都理工大学;2007年
3 宋金亮;CVD金刚石薄膜刀具基体表面电化学两步法预处理研究[D];成都理工大学;2007年
4 姬彤;金刚石膜在红外透波窗口中的应用基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
5 郑先锋;直流辉光氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究[D];武汉工程大学;2007年
6 翁俊;新型MPCVD装置制备大面积金刚石膜的研究[D];武汉工程大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 袁逸,杨保雄,白元强,王建军,吕反修;微波等离子体CVD金刚石薄膜的显微结构[J];北京科技大学学报;1994年03期
2 郭志猛,殷声,赖和怡;火焰法沉积金刚石薄膜的组织结构[J];北京科技大学学报;1995年03期
3 黄元盛,罗承萍,邱万奇;化学气相沉积金刚石薄膜的晶体缺陷和杂质[J];中国表面工程;2004年01期
4 刘之景,周海洋;CVD金刚石薄膜取向生长研究现状[J];材料保护;2000年01期
5 齐军,雒建斌,王静,李文治,温诗铸;离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响[J];材料工程;2000年02期
6 杨志军,彭明生,苑执中;金刚石中氢的研究及其意义[J];地球科学进展;2002年01期
7 张艳梅;潘俊德;李忠厚;徐重;;金刚石薄膜用钢基表面过渡层研究进展[J];材料导报;2006年09期
8 周灵平,靳九成,李绍禄,颜永红,朱正华;CVD金刚石薄膜表面的缺陷研究[J];人工晶体学报;1998年02期
9 满卫东,汪建华,王传新,马志斌;金刚石薄膜的性质、制备及应用[J];新型炭材料;2002年01期
10 杨仕娥,李会军,边超,王小平,马丙现,姚宁,张兵临;CVD金刚石膜生长过程的Raman分析[J];真空与低温;2002年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱宏喜;毛卫民;吕反修;李全安;郭辉;;CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究[J];物理测试;2008年04期
2 朱宏喜;顾超;任凤章;田保红;;CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程[J];科学技术与工程;2011年12期
3 姜春生;刘政;郭世斌;李晓静;唐伟忠;吕反修;郭辉;;沉积温度及其变化对金刚石膜内黑色缺陷产生过程的影响[J];材料热处理学报;2010年03期
4 杨国伟,毛友德;非金刚石相碳成分对金刚石薄膜晶形的影响[J];表面技术;1994年04期
5 张小平;用甲醇-氢混合气源在不锈钢上生长金刚石薄膜的研究[J];高压物理学报;1996年03期
6 赵南方,杨巧勤,赵立华,李德意,肖汉宁;热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析[J];矿冶工程;1998年03期
7 ;其它[J];中国光学与应用光学文摘;1998年04期
8 ;金刚石薄膜开发取得突破[J];炭素技术;2001年02期
9 黄树涛,姚英学,于宏,李剑锋,袁哲俊;金刚石薄膜在硬质合金基体上的生长及附着强度研究[J];人工晶体学报;2004年06期
10 匡同春,刘正义,代明江,周克崧,王德政;金刚石薄膜涂层硬质合金刀具的界面表征[J];无机材料学报;1998年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 朱宏喜;毛卫民;冯惠平;;CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的EBSD检测分析[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年
2 谢扩军;季天仁;王志红;;大功率电真空器件陶瓷介质杆沉积金刚石薄膜研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年
3 杨洁;申彩霞;刘旺盛;王成新;刘洪武;;不同重力取向对金刚石薄膜生长的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 蒋瑞亭;;金刚石薄膜的国内外发展概况[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
5 荘志诚;张志明;张伟东;竺品芳;;金刚石薄膜中碳键的喇曼光谱[A];中国物理学会光散射专业委员会成立十周年暨第六届学术会议论文集(上)[C];1991年
6 邹广田;于三;;气相合成金刚石薄膜的研究进展[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
7 刘忠伟;孙滨如;张保军;周越;;红外反射谱法测量金刚石薄膜的厚度和折射率[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
8 王士红;皇甫萍;金曾孙;吕宪义;邹广田;;金刚石薄膜与衬底间过渡层结构特性的研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
9 何金田;张兵临;王建恩;沈书泊;宋好奇;;用化学气相沉积法制备金刚石薄膜时氢的分步刻蚀效应[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
10 茅东升;王曦;李炜;柳襄怀;;金刚石薄膜电子场发射研究进展[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴琼;引人瞩目的新材料金刚石薄膜[N];中国电子报;2000年
2 吴琼;新型电子材料[N];北京电子报;2000年
3 记者 周文斌;我金刚石薄膜技术达世界先进水平[N];光明日报;2001年
4 刘苒;我国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科技日报;2001年
5 金展;中国金刚石薄膜开发获重大进展[N];中国有色金属报;2002年
6 ;成都理工大学:打造先进金刚石薄膜实验室[N];人民日报海外版;2003年
7 科新;强磁场下纳米金刚石薄膜的制备技术项目通过验收[N];中国建材报;2008年
8 钟才伦;纳米级金刚石镀膜为多种材质作“外衣”[N];中国有色金属报;2003年
9 本报记者 刘肖勇 通讯员 刘楚珠;打造显示技术创新中心[N];广东科技报;2010年
10 记者 范春生;小企业涉足高科技要有风险意识[N];新华每日电讯;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 黄健;基于自支撑金刚石薄膜的晶体管和紫外探测器制备与性能研究[D];上海大学;2010年
2 王小平;金刚石薄膜电致发光特性研究[D];郑州大学;2002年
3 沈彬;超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究[D];上海交通大学;2009年
4 魏秋平;钢基CVD金刚石薄膜的制备、微结构及其机械性能的研究[D];中南大学;2011年
5 蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
6 骆金龙;CVD金刚石薄膜的制备及其特性和器件化研究[D];复旦大学;2005年
7 王兵;新型医用辐射剂量计金刚石膜的制备及性能研究[D];四川大学;2003年
8 许龙山;碳纳米材料的制备及其在复合材料中的应用[D];湖南大学;2009年
9 李学敏;金刚石薄膜电极的电化学特性及其在污水处理中的应用研究[D];清华大学;2004年
10 刘燕燕;微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的电子显微学分析[D];大连理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
2 王莎莎;金刚石薄膜的制备及其平坦化研究[D];天津理工大学;2011年
3 石利忠;图形化纳米金刚石薄膜的制备及表面氢吸附的研究[D];河北大学;2009年
4 李正学;硼掺杂金刚石薄膜的制备、电化学性能及表面修饰研究[D];南京理工大学;2012年
5 杜丽丽;钛基掺硼金刚石薄膜电极的制备与电化学研究[D];吉林大学;2011年
6 王玲;W18Cr4V高速钢基体金刚石薄膜的研究[D];中南大学;2011年
7 田孟昆;HFCVD金刚石薄膜/铜复合材料的生长工艺及结合性能研究[D];中南大学;2011年
8 崔娜娜;用作OLED场发射阴极的金刚石薄膜的制备[D];郑州大学;2011年
9 李慧玲;金刚石薄膜低温合成的研究[D];河北大学;2000年
10 杨国栋;陶瓷基CVD金刚石薄膜的制备、摩擦试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
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