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《科技与创新》 2017年04期
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超快激光单脉冲诱导硅表面火山坑形貌

纪煦  丁红军  张莉英  付宏鸽  吕玉梅  何健  
【摘要】:超快激光单脉冲在高于烧蚀阈值下诱导硅表面形成了纳米尺度的火山坑形貌。在相对低的通量时,火山坑的形貌为不规则圆形,沿着激光偏振方向的直径略长于垂直激光偏振方向的直径,增加了激光脉冲通量,火山坑形貌渐变成接近圆形。时域有限差分法模拟分析可能存在的物理机理为表面缺陷或因初始的弹坑引起硅表面烧蚀区域的电场重新分布,沿着激光偏振方向的电场强度增强,进而形成火山坑的不规则圆形状。
【作者单位】北华航天工业学院机电工程学院;
【关键词】超快激光 火山坑 通量
【基金】:河北省科技计划项目(编号:15211818) 河北省高等学校科学技术研究项目(编号:QN2016054) 廊坊市科技计划项目(编号:2015011013) 北华航天工业学院博士启动基金项目(编号:BKY-2015-01)
【分类号】:TN249
【正文快照】:
超快激光具有脉冲时间短、峰值功率高、精确的聚焦定位等特点,可以在多种材料表面上加工出多种形貌的微纳结构,这些微纳结构可以应用在许多领域,比如波导吸收、太阳能电池板、光存储、微通道、增强拉曼散射等。因此超快激光诱导表面微纳结构受到了广泛的关注。本文主要研究了

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