收藏本站
《机械工程学报》 2009年02期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于相位恢复技术的大型光学镜面面形在位检测技术

吴宇列  胡晓军  戴一帆  李圣怡  
【摘要】:根据目前大镜加工在位检测的需求和面临的困难,把基于衍射图像检测的相位恢复技术应用到大镜面形的在位检测,建立大镜加工在位检测系统。对影响测量系统精度的主要因素以及系统的抗振动性能进行了分析和仿真,结果表明该测量系统具有较好的抗振动能力,精度接近标准球面波光源的精度。基于GS迭代算法开发了测量软件,对φ500mm球面镜进行在位测量。把相位恢复测量结果与高精度的ZYGO干涉仪测量结果进行比较分析,结果表明在面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和方均根值(RMS)上,两者具有较高程度的一致性,这说明相位恢复测量方法的可行性和准确性。由该方法构成的在位测量系统具有光路简单、精度较高、抗振动能力强和操作简单等特点,完全满足大镜的在位测量需求。

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李圣怡;胡晓军;吴宇列;;大镜面在位检测中的相位恢复技术研究[J];光子学报;2009年02期
2 吴宇列;胡晓军;戴一帆;李圣怡;;基于相位恢复技术的大型光学镜面面形在位检测技术[J];机械工程学报;2009年02期
3 沈洪斌;许晓军;刘泽金;司宾强;;光栅型波前曲率传感器原理与相位恢复研究[J];军械工程学院学报;2007年02期
4 胡晓军;郑子文;戴一帆;李圣怡;;基于相位恢复技术的二维相位解包络算法[J];国防科技大学学报;2007年06期
5 李辉;张行;;TC-QAM系统中的载波相位恢复方法[J];四川大学学报(工程科学版);2006年03期
6 李强;沈忙作;;基于相位差法的波前检测技术[J];光电工程;2006年11期
7 高成勇,苏爱国;简谐波运动理论在物体曲面形貌测量中的应用[J];山东大学学报(工学版);2005年05期
8 刘晓军,高咏生;横向剪切干涉测量中准确的相位恢复算法(英文)[J];光学精密工程;2004年05期
9 郑德香,张岩,沈京玲,张存林;数字全息技术的原理和应用[J];物理;2004年11期
10 龙井华,阮双琛,巨养锋,朱勤;新型超短光脉冲测量技术[J];深圳大学学报(理工版);2001年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 龙井华;频率分辨光学快门的理论研究和LD泵浦Cr:LiSAF蓝光激光器的研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 张浩;相位恢复算法和分数小波变换在图像加密及水印中的应用[D];山东大学;2008年
2 沈洪斌;光栅型波前曲率传感器相位恢复算法研究[D];国防科学技术大学;2005年
3 董前民;随机表面统计特性的光散射标定和散斑场相位模拟分析[D];山东师范大学;2001年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026