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《机械工程学报》 2006年06期
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电化学腐蚀法加工微圆柱体

王明环  朱荻  张朝阳  
【摘要】:基于电化学腐蚀原理加工微机械加工中使用的微圆柱体,对微细圆柱体成形的机理进行详细的分析。通过对腐蚀过程进行理论建模,利用对电压和腐蚀时间的控制来决定腐蚀后微圆柱体成形的形状以及圆柱体直径尺寸大小。同时,对影响微圆柱体成形的试验参数进行详细的分析,如对电压的控制、电流的变化、电解液浓度的影响、腐蚀时间决定的微圆柱体直径大小等,最后得出微圆柱体成形的规律。理论模型计算结果与试验结果进行比较,证明了理论建模的正确性。利用此种方法试验加工出总长1 180μm,前端较细处长300 μm,直径6μm的钨微细圆柱体结构,长径比达到50:1,并可以在微细加工作为工具电极使用。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王明环;彭伟;;电化学加工法制备微细工具电极试验研究[J];兵工学报;2010年01期
2 谢岩甫;刘壮;陈伟;;电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究[J];电加工与模具;2011年01期
3 汪涛;彭伟;王明环;;微细电解加工微电极成形工艺研究[J];电加工与模具;2012年01期
4 刘勇;朱荻;曾永彬;黄绍服;余宏兵;;复杂结构的微细电解加工实验研究(英文)[J];Chinese Journal of Aeronautics;2010年05期
5 韩子平;于兆勤;郭钟宁;莫秉华;;微细电解加工实验研究[J];机电工程技术;2008年09期
6 刘勇;曾永彬;余宏兵;朱荻;;多阶柱状微电极加工模型及试验研究[J];机械工程学报;2011年17期
7 段君毅;康小明;赵万生;;用于场致发射电推力器的微发射针制造技术[J];上海交通大学学报;2009年12期
8 王明环;朱荻;王磊;张朝阳;;微细电解加工中工具电极的制备及应用[J];微细加工技术;2007年05期
9 余宏兵;曾永彬;刘勇;朱荻;;镍基高温合金微细电解铣削加工实验研究[J];中国机械工程;2010年11期
10 郭帅;罗红平;郭钟宁;;微细电极在线制备技术的研究进展[J];制造技术与机床;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 衡冲;利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
3 陈伟;阴极跳跃冲液的数值模拟与微细电解加工试验[D];南京航空航天大学;2011年
4 曲德峰;微细电解钻孔工艺研究[D];南京航空航天大学;2007年
5 韩子平;脉冲微细电解加工技术研究[D];广东工业大学;2008年
6 侯茂盛;基于PVDF薄膜振动梁式测头的新型轻敲式扫描探针显微系统研制[D];合肥工业大学;2009年
7 郭帅;微细工具电极在线制备装置开发及加工技术的研究[D];广东工业大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
2 雷卫宁,朱荻;微细孔电加工技术[J];航空精密制造技术;2001年03期
3 曹国辉,王振龙,迟关心,郭永丰,赵万生;基于单脉冲放电的钨微细电极快速成形方法及其应用研究[J];机械工程学报;2003年07期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张辽远,刘尧;电化学加工微电极的工艺研究[J];兵工学报;2005年01期
2 王明环;彭伟;;电化学加工法制备微细工具电极试验研究[J];兵工学报;2010年01期
3 贾宝贤,王振龙,赵万生;用块电极轴向进给法电火花磨削微细轴[J];电加工与模具;2004年03期
4 朱保国,王振龙;微细轴的电加工技术[J];电加工与模具;2005年04期
5 张昭瑞;黄燕华;张林;袁光辉;朱磊;;实验用多微孔板的电火花加工[J];电加工与模具;2007年S1期
6 马星辉;高国富;赵波;董小磊;;精密微小孔加工技术进展[J];电加工与模具;2008年05期
7 谢岩甫;刘壮;陈伟;;电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究[J];电加工与模具;2011年01期
8 杨建明;卢龙;李映平;;电火花加工工具电极制备技术研究进展[J];机床与液压;2007年11期
9 李刚,赵万生;微细电火花加工及其关键技术[J];机械工程师;2004年02期
10 孟冬;李寒松;曾永彬;刘勇;;微细球状电极制备研究[J];机械工程学报;2011年15期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 孟冬;李寒松;曾永彬;刘勇;;基于ECM-OPEG微细球状电极制备研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
2 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
3 赵万生;顾琳;郭锐;李刚;;微细电加工的最新发展与应用前景[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
4 王明环;朱荻;张朝阳;;利用电解法制备针尖的研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
5 赵万生;顾琳;郭锐;李刚;;微细电加工的最新发展与应用前景[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
6 王明环;朱荻;张朝阳;;利用电解法制备针尖的研究[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
2 彭子龙;微细电火花沉积与去除可逆加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年
4 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
5 王少华;微细电解线切割加工技术的试验研究与应用[D];南京航空航天大学;2010年
6 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
7 郭锐;基于Linux的微细电火花加工数控系统及其相关关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 李刚;基于直线电机的微细电火花加工系统及其关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 苏树朋;基于气体介质的电火花铣削加工技术及机理研究[D];山东大学;2008年
10 张霖;数控微细铣削机床系统构建及性能研究[D];南京航空航天大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何晓凌;微沟槽车削的刀具尖端磨损及工艺参数研究[D];华南理工大学;2011年
2 衡冲;利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 范道伟;微细电火花加工放电状态检测研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 白军军;气中电火花单脉冲加工温度场及应力场的有限元仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
6 陈伟;阴极跳跃冲液的数值模拟与微细电解加工试验[D];南京航空航天大学;2011年
7 孟冬;基于微细球头状电极的微小孔电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 金方进;微细电火花铣削加工电极补偿算法及实验研究[D];上海交通大学;2012年
9 赵星;基于AGIE CHALLENGE ECUT 2F机床的微细电火花线切割加工技术实践研究[D];南京航空航天大学;2006年
10 周林;微细电火花加工技术研究[D];中国工程物理研究院;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 汤儆,毛秉伟,田中群;电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟;微机电系统的微细加工技术[J];微纳电子技术;2004年11期
3 张颖;王蔚;田丽;刘晓为;李玲;;微流动的尺寸效应[J];微纳电子技术;2008年01期
4 张辽远,刘尧;电化学加工微电极的工艺研究[J];兵工学报;2005年01期
5 王明环;彭伟;;电化学加工法制备微细工具电极试验研究[J];兵工学报;2010年01期
6 赵清亮,王景贺,李旦,董申;扫描探针显微镜的最新技术进展及应用[J];传感技术学报;1999年04期
7 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
8 张永华,丁桂甫,彭军,蔡炳初;LIGA相关技术及应用[J];传感器技术;2003年03期
9 王晓东,常城,宋洪侠;用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术[J];传感器技术;2003年09期
10 李金田;压电传感器与前置放大器的配接[J];传感器技术;2004年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 陈远龙;张超;王天霁;;电化学加工技术的概况与展望[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张华;喷射液束电解—激光复合加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
2 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
3 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
4 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
5 王明环;微细电解加工实验研究[D];南京航空航天大学;2007年
6 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
7 冀封;微流控多尺度现象研究[D];吉林大学;2008年
8 崔景芝;微细电火花加工的基本规律及其仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 李刚;基于直线电机的微细电火花加工系统及其关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
10 朱保国;脉冲电化学微细加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄海苟;约束刻蚀剂层技术用于砷化镓三维规整细微图形的复制加工[D];厦门大学;2001年
2 冯焕琴;基于线切割机的线电极放电磨削工艺的研究[D];吉林大学;2004年
3 宋馨来;微细电火花加工中的CAD/CAM技术研究[D];南京航空航天大学;2005年
4 曾繁章;微细电解加工装备开发与实验研究[D];广东工业大学;2006年
5 陈实;用于微流体芯片的PDMS被动式微混合器研究[D];上海交通大学;2007年
6 陈柱春;纳秒级脉冲电源研制及微细电解工艺试验[D];广东工业大学;2007年
7 孙立忠;脉冲电流电解加工微细结构的试验研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 翁明浩;微细阵列轴孔的电火花和电化学加工工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 刘燕;微小孔电解加工若干关键技术的研究[D];南京航空航天大学;2008年
10 陈明;微细螺旋冷却孔电解加工技术研究[D];浙江工业大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 谢岩甫;刘壮;陈伟;;电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究[J];电加工与模具;2011年01期
2 汪涛;彭伟;王明环;;微细电解加工微电极成形工艺研究[J];电加工与模具;2012年01期
3 段君毅;康小明;赵万生;;铟场致发射电推力器的研制[J];固体火箭技术;2011年06期
4 刘勇;曾永彬;余宏兵;朱荻;;多阶柱状微电极加工模型及试验研究[J];机械工程学报;2011年17期
5 王贺宾;郭钟宁;罗红平;;微细电解加工技术研究现状与展望[J];组合机床与自动化加工技术;2011年04期
6 郭帅;罗红平;郭钟宁;;微细电极在线制备技术的研究进展[J];制造技术与机床;2011年08期
7 张建华;葛红宇;李宏胜;方力;;微细电化学加工纳秒脉冲电源的研制[J];制造技术与机床;2011年10期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
2 张超凤;朱永伟;缪新磊;;电参数对超声辅助电解加工工艺规律的影响分析及试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 张华;喷射液束电解—激光复合加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
2 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
3 王少华;微细电解线切割加工技术的试验研究与应用[D];南京航空航天大学;2010年
4 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 衡冲;利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 丁维育;纯钛微细电解加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
4 孙立忠;脉冲电流电解加工微细结构的试验研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
5 陶建松;微结构超声复合电加工技术[D];扬州大学;2010年
6 赵志;射流电解小尺寸成型加工工艺规律研究[D];西安工业大学;2010年
7 王祥;基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的设计[D];合肥工业大学;2010年
8 王广红;基于压电微音叉的扫描探针显微镜系统研究[D];合肥工业大学;2010年
9 王贺宾;微细电解加工装备研制及其实验研究[D];广东工业大学;2012年
10 郭帅;微细工具电极在线制备装置开发及加工技术的研究[D];广东工业大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 赵万生,韦红雨,刘维东,狄士春;应用线电极磨削法的电火花微孔加工[J];电加工;1997年03期
2 李勇,严晓敏,郭,王显军,邹丽芸;微细电火花加工工艺研究[J];电加工;1998年04期
3 钱军,高长水,刘正埙;工件激振式复合电火花微细孔加工[J];航空精密制造技术;1997年05期
4 宋小中,刘正勋;特种加工技术在细微孔加工中的应用[J];航空精密制造技术;1994年02期
5 袁松梅,赵万生,刘维东,栾英艳;超声电火花复合加工的研究进展[J];航空精密制造技术;1998年06期
6 梅方清;吴厚先;;特种加工技术在新型发动机上的应用[J];航空工艺技术;1997年06期
7 ;超硬刀具材料的研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2001年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王磊;朱荻;曲宁松;王明环;;电化学腐蚀法制备微细群圆柱[J];机械科学与技术;2007年07期
2 王昆;朱荻;王明环;;微米尺度线电极的电化学腐蚀法制备[J];机械科学与技术;2006年09期
3 李成玉,刘德富;电化学腐蚀法测试冷弯薄壁型钢的残余应力[J];三峡大学学报(自然科学版);2001年04期
4 谢岩甫;刘壮;陈伟;;电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究[J];电加工与模具;2011年01期
5 韩子平;于兆勤;郭钟宁;莫秉华;;微细电解加工实验研究[J];机电工程技术;2008年09期
6 段君毅;康小明;赵万生;;用于场致发射电推力器的微发射针制造技术[J];上海交通大学学报;2009年12期
7 王昆;朱荻;张朝阳;;微细电解线切割加工的基础研究[J];中国机械工程;2007年07期
8 王希隽;李兆成;郭松宏;张斌;;航空电器微小零件的制造特点[J];航空精密制造技术;1992年01期
9 张昭瑞;黄燕华;张林;袁光辉;朱磊;;实验用多微孔板的电火花加工[J];电加工与模具;2007年S1期
10 陈志祥;;超精密加工与微细加工的现状和发展[J];仪表技术与传感器;1982年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 汤雁冰;刘莉;李瑛;王福会;;纯Fe在固态NaCl和水蒸汽协同作用下电化学作用机制研究[A];2010年全国腐蚀电化学及测试方法学术会议摘要集[C];2010年
2 刘北兴;李国爱;吴宜勇;;电场热处理对1420合金抗蚀性能的影响[A];全国材料理化测试与产品质量控制学术研讨会论文专辑(物理测试部分)[C];2002年
3 胡高茜;赵峰;;电化学腐蚀方法测冷弯帽型截面残余应力[A];钢结构工程研究(六)——中国钢结构协会结构稳定与疲劳分会2006年学术交流会论文集[C];2006年
4 赵峰;李成玉;;电化学腐蚀方法测试冷弯薄壁型钢的残余应力[A];钢结构工程研究(三)——中国钢结构协会结构稳定与疲劳分会2000年学术交流会论文集[C];2000年
5 兰汉焰;邱兴智;沈志恒;;电化学腐蚀对屏蔽效能的影响及其防护[A];第八次全国计算机安全学术交流会论文集[C];1993年
6 张宗举;;炼焦厂区设备及管道的腐蚀与防护[A];苏鲁皖赣四省金属学会第十三届焦化联合学术年会论文集[C];2005年
7 薛文斌;吴晓玲;来永春;李夕金;田华;;SiC_p/2024铝基复合材料微弧氧化膜制备及电化学腐蚀研究[A];复合材料——基础、创新、高效:第十四届全国复合材料学术会议论文集(上)[C];2006年
8 易兵;孙仁国;王劲松;;输油管道腐蚀测试技术及应用[A];1998年中国地球物理学会第十四届学术年会论文集[C];1998年
9 曹颖;杨玉强;赵晓辉;;高压水泵轴断裂失效分析[A];2007年全国失效分析学术会议论文集[C];2007年
10 何斌;杨振国;;变电所屋外构筑物钢结构件的失效分析[A];2007年全国失效分析学术会议论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王燕宁丁秀玉;铜铝管怎样使空调既节能又长寿?[N];科技日报;2008年
2 黄春韶;满足微细加工需求 平面磨床发展趋势明显[N];中国工业报;2007年
3 本报记者 何人民;华工激光进军精密微细加工领域[N];中国工业报;2009年
4 顾纪清;如何防止建筑钢结构被“蚕食”[N];建筑时报;2006年
5 叶甜春;90/65/45纳米半导体工艺——IT产业新的起跑线[N];计算机世界;2003年
6 记者 刘志良;金银币何以遭到腐蚀[N];金融时报;2007年
7 章南彪 王水木 王建祥;建筑与环保[N];建筑时报;2006年
8 金通证券 陈泳潮;G金果业绩回暖超跌严重[N];证券时报;2006年
9 荻祺;除痣方法效果比较[N];卫生与生活报;2007年
10 王富东;民用飞机的防腐与维护[N];中国民航报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蒋玉荣;硅基三维结构电化学腐蚀技术及机理研究[D];武汉理工大学;2010年
2 窦雁巍;MEMS中多孔硅基本特性及绝热性能研究[D];天津大学;2005年
3 缪中荣;随意电解可脱性弹簧圈(LLC)的研制[D];中国协和医科大学;1999年
4 鲍怀谦;超纯水微细电解加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
5 陈茂斌;钒电池关键材料及外通道流量分配研究[D];重庆大学;2008年
6 巫殷忠;飞秒激光在固体材料上制作微结构的研究[D];天津大学;2008年
7 郭锐;飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究[D];中国科学技术大学;2008年
8 刘景军;高速多相海水中材料流动腐蚀的数值模拟与实验验证[D];北京化工大学;2006年
9 张乐欣;多孔硅光子晶体的气体传感技术的研究[D];燕山大学;2007年
10 彭林法;微/介观尺度下薄板成形建模分析与实验研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王刚;六硼化镧场发射阴极阵列的制备工艺研究[D];电子科技大学;2007年
2 李红菊;多孔硅上固相晶化制备晶硅薄膜的初步研究[D];郑州大学;2007年
3 崔梦;应用于MEMS中多孔硅显微结构及绝热性能的研究[D];天津大学;2004年
4 刘彩霞;电化学腐蚀多孔硅光致发光特性研究[D];河北师范大学;2008年
5 谭庆彪;强流脉冲离子束(HIPIB)辐照AZ31镁合金的腐蚀磨损行为[D];大连交通大学;2007年
6 杨军;大孔硅通道列阵光电化学腐蚀机理研究[D];长春理工大学;2010年
7 肖庆锋;TiO_2薄膜的电化学沉积及耐蚀性能研究[D];郑州大学;2007年
8 张建刚;AZ31镁合金阳极氧化新工艺的研究[D];重庆大学;2008年
9 王本莲;单晶LaB_6场发射二极管阵列研究[D];电子科技大学;2009年
10 何美清;低碳钢稀土催渗耐蚀气体氮化[D];合肥工业大学;2007年
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