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《机械工程学报》 2005年11期
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湿法腐蚀硅制作PDMS微流控芯片

张峰  张宏毅  周勇亮  杨渭  陈彬彬  
【摘要】:提出一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片的方法。用15%四甲基氢氧化铵溶液各向异性腐蚀硅(100)制作模具,然后经过浇模,中真空键合得到PDMS微流控芯片。整个过程耗时约10h。用SEM和激光共焦显微成像系统观察整个制作过程。分析了硅片模具及PDMS微流控芯片图案的一致性及粗糙度,结果表明硅片模具图案的相对标准偏差低于3%,表面粗糙度Ra是0.0.51μm,PDMS微流控芯片相应的分别是1%和0.183μm。用PDMS微流控芯片进行电泳分离试验,分离场强200V/cm,在4.7cm长的分离通道中,30s内成功分离了四苯磺酸基卟啉(TPPS)和羧基钴酞菁(TCPcCo(Ⅱ))的混合样品。

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【引证文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
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【同被引文献】
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10 陈令新,关亚风;单级高压微流量电渗泵的研究[J];分析化学;2003年07期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【相似文献】
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7 涂琴;王建春;任丽;李立;刘文明;许娟;王进义;;微流控芯片细胞分析方法研究[A];中国化学会第28届学术年会第9分会场摘要集[C];2012年
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7 罗清岳;非晶硅与多晶硅薄膜晶体管技术发展[N];电子资讯时报;2007年
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10 夏飞;PDMS微流控芯片的制备工艺研究[D];南京理工大学;2010年
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