MEMS可靠性与失效分析

【摘要】：主要探讨目前微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中采用的分别以费用和以失效分析/质量保证为主的两种可靠性分析方法,并介绍其他相关的分析方法;对国内外广泛运用的众多失效分析基本单元结构进行详细分析;叙述MEMS中各种不同的失效模式、失效机理、失效分析应用范围及采取的相应措施;并就MEMS可能出现的失效模式提出相关的微分析技术,为MEMS提供可靠性保障,有利于MEMS的可靠性设计。

【作者单位】：上海交通大学振动冲击噪声国家重点实验室上海交通大学振动冲击噪声国家重点实验室
【基金】：国家杰出青年基金资助项目(10325209)
【分类号】：TH703

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	【引证文献】
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中国重要会议论文全文数据库

前1条

1	郭永献;梁丽萍;张大兴;;微机电系统开关可靠性及失效分析[A];2007年全国失效分析学术会议论文集[C];2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前1条

1	李莉;Cu/Sn等温凝固键合技术在MEMS圆片级气密封装中的应用[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2006年

	【参考文献】
	【参考文献】

中国期刊全文数据库

前1条

1	张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期

	【共引文献】
	【共引文献】

中国期刊全文数据库

前9条

1	曲国福;刘宏昭;;基于MEMS技术的复合型智能传感器设计[J];传感器与微系统;2006年03期
2	童志义,赵晓东;国内外MEMS器件现状及发展趋势[J];电子工业专用设备;2002年04期
3	金翠云,李一博,王立坤,靳世久;EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用[J];国外电子元器件;2003年12期
4	王亚珍,朱文坚;微机电系统(MEMS)技术及发展趋势[J];机械设计与研究;2004年01期
5	杨红军,李刚炎;微机电系统的构成及其关键技术[J];机械;2005年01期
6	林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的研究与展望[J];微电子学;2005年01期
7	林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的发展及其应用[J];纳米技术与精密工程;2004年02期
8	谢勇君,史铁林,白金鹏,来五星;基于亚像素综合定位匹配算法的MEMS平面运动测量[J];纳米技术与精密工程;2005年02期
9	金翠云,李一博,靳世久,王立坤;MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现[J];仪器仪表学报;2003年S1期

中国重要会议论文全文数据库

前3条

1	张锐;孙连举;;制导控制系统与电子技术发展[A];航天电子信息配套发展战略论坛论文集[C];2005年
2	王灵婕;林吉申;;功能材料在MEMS中的应用及进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
3	金翠云;李一博;靳世久;王立坤;;MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
2	佟建华;压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究[D];大连理工大学;2006年
3	余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
4	张思杰;基于MEMS的消化道无线内窥镜的研究[D];重庆大学;2005年
5	刘素芬;交叉导流式微型混沌混合器的研究[D];浙江大学;2005年
6	宋瑞银;冷热源微小型热电电源的研究[D];浙江大学;2006年
7	张燕君;光电集成加速度地震检波器的理论与实验研究[D];天津大学;2006年
8	李木军;接近式光刻仿真研究[D];中国科学技术大学;2007年
9	徐洁;微尺度器件及旋转干气密封微间隙内流体流动问题的研究[D];上海交通大学;2007年
10	谢勇君;MEMS微结构动态测试方法及关键技术研究[D];华中科技大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	邓进军;基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究[D];西北工业大学;2003年
2	吴琦;MEMS用硅基永磁薄膜阵列设计与制备研究[D];电子科技大学;2003年
3	陈爽;面向灵巧蒙皮的微型压力传感器的设计与分析[D];西北工业大学;2004年
4	刘奎;面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真[D];西北工业大学;2004年
5	全定策;磁力轴承结构设计及其转子结构特性分析[D];武汉理工大学;2004年
6	刘玲;玻璃微细加工工艺的研究与磁流体推进式微型泵样机的研制[D];浙江大学;2004年
7	陶志军;微静电开关的非线性动力学[D];天津大学;2004年
8	金翠云;基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术的研究[D];天津大学;2003年
9	黄蓉;基于硅衬底的新型射频微机械开关[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年
10	付逊;薄膜锂（离子）电池的研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年

	【同被引文献】
	【同被引文献】

中国期刊全文数据库

前7条

1	顾永莲,杨邦朝;无铅焊点的可靠性问题[J];电子与封装;2005年05期
2	王铁兵,施建中,谢晓明;Au/In等温凝固焊接失效模式研究[J];功能材料与器件学报;2001年01期
3	王亚珍,朱文坚;微机电系统(MEMS)技术及发展趋势[J];机械设计与研究;2004年01期
4	高世桥,曲大成;微机电系统(MEMS)技术的研究与应用[J];科技导报;2004年04期
5	孙晓辉,李永红;MEMS封装中的关键技术[J];科技情报开发与经济;2005年05期
6	林仰魁,钱开友,徐东,蔡炳初;用于MEMS器件的真空密封技术[J];微细加工技术;2004年04期
7	刘凤丽;郝永平;高连兴;;静电驱动微机械梳状陀螺仪中典型结构的可靠性研究[J];探测与控制学报;2007年01期

中国博士学位论文全文数据库

前1条

1	徐步陆;电子封装可靠性研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年

中国硕士学位论文全文数据库

前2条

1	寇剑菊;叉指式微加速度计的系统仿真分析[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
2	杜茂华;Cu/Sn等温凝固键合在MEMS气密封装中的应用研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年

	【二级参考文献】
	【二级参考文献】

中国重要会议论文全文数据库

前1条

1	周兆英;袁松梅;;微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	薄兰邵;集成电路高温贮存寿命试验可靠性估计[J];微电子学与计算机;1980年05期
2	楚乃城;;高压储能电容器在大电流脉冲放电下的失效[J];电力电容器;1980年02期
3	张天爵;;动力机械的磨损诊断[J];海军工程大学学报;1980年01期
4	张献祖;;半导体器件的失效和可靠性[J];仪表技术与传感器;1980年04期
5	顾震隆;受拉伸的单向纤维复合材料的断裂机理及其初步模型和初步准则[J];哈尔滨工业大学学报;1981年02期
6	李思述,李京,王凤玲,赵斌,谈晓臣;汞离子推进系统寿命试验设备的设计[J];中国空间科学技术;1981年04期
7	吕清元;;固体微波器件高可靠性电应力试验研究[J];微纳电子技术;1981年02期
8	章国兴;沈天礼;;电视机用晶体管的实用可靠性[J];电子技术;1981年08期
9	韩忠学;;微特电机的可靠性与寿命[J];微特电机;1981年01期
10	赵奇昌;阻容元件的失效分析[J];电子元件与材料;1982年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘洪兵;常大民;;平面框架结构体系可靠度的计算机算法及应用[A];中国土木工程学会计算机应用分会第七届年会论文集[C];1999年
2	陈盘训;周开明;;运算放大器X和γ射线辐射损伤的比较[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年
3	陈钢;徐秉业;;含凹坑缺陷球壳极限与安定性载荷的数值分析[A];第四届全国压力容器学术会议论文集[C];1997年
4	周玉明;陶继忠;;汽车制动系可靠性分析[A];四川省汽车工程学会第一届二次年会论文集[C];1991年
5	吴世伟;;结构体系可靠度研究进展[A];工程结构可靠性——中国土木工程学会桥梁及结构工程学会第七届学术会议论文集[C];1987年
6	刘尔烈;汪克让;杨凤祥;;水平荷载作用下长桩的可靠度分析[A];工程结构可靠性——中国土木工程学会桥梁及结构工程学会第七届学术会议论文集[C];1987年
7	曹策慧;;超静定拱的可靠度分析[A];全国桥梁结构学术大会论文集（下册）[C];1992年
8	吴世伟;李同春;;用随机有限元法分析重力坝的失效模式及系统可靠度[A];工程结构可靠性——中国土木工程学会桥梁及结构工程学会结构可靠度委员会全国第二届学术交流会议论文集[C];1989年
9	吴世伟;李同春;张思俊;吕泰仁;刘宁;;拱坝的失效模式与可靠度[A];工程结构可靠性——中国土木工程学会桥梁及结构工程学会结构可靠度委员会全国第三届学术交流会议论文集[C];1992年
10	曹起风;;结构系统可靠性分析与设计方法的改革[A];工程结构可靠性——中国土木工程学会桥梁及结构工程学会结构可靠度委员会全国第二届学术交流会议论文集[C];1989年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;非凡的纳米技术[N];中国质量报;2000年
2	申智明高治明朱俊;电子化智能化组合开关发展的方向[N];中国汽车报;2001年
3	记者卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
4	记者亢宗兵陈希;“重庆光谷”破土而出[N];重庆商报;2001年
5	尚黎华;以光速连接网络[N];中国计算机报;2001年
6	记者陈妍;摩托罗拉在华培训本土供应商[N];国际商报;2002年
7	陈杰;摩托罗拉在华推进配套产品本土化[N];河北日报;2002年
8	中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
9	;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
10	马晓斌;飞思卡尔传感器产品在TPMS应用中升级[N];中国电子报;2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	张志民;船首底部砰击强度的可靠性分析[D];哈尔滨工程大学;2001年
2	贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2003年
3	于景荣;质子交换膜与MEMS微型燃料电池的研究[D];中国科学院研究生院（大连化学物理研究所）;2003年
4	张小庆;结构体系可靠度分析方法研究[D];大连理工大学;2003年
5	杨令强;高拱坝开裂分析及安全评价[D];天津大学;2003年
6	程波;温度冲击条件下倒装焊可靠性的研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2003年
7	向红亮;长寿纸浆磨盘精密成形技术的研究[D];华中科技大学;2004年
8	许林;基于可靠度的结构优化研究[D];大连理工大学;2004年
9	余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
10	梅刚;基于非线性随机有限元的结构可靠度问题研究[D];清华大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	赵小莲;新型两辊甘蔗压榨机系统的模糊可靠性分析及其压榨辊的模糊可靠性优化设计的研究[D];广西大学;2001年
2	范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
3	黄全平;高量程微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年
4	李忻;低量程电容式压力传感器及相关技术研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年
5	左华伟;现役海底输油管线的可靠度分析与维修决策[D];大连理工大学;2002年
6	李卫华;板架结构稳定性综合分析及其计算程序系统的研制[D];武汉理工大学;2002年
7	张朝阳;桁架结构系统可靠度计算[D];国防科学技术大学;2002年
8	倪永中;ANSYS平台下电站材料粘塑性模型的研究及开发[D];华北电力大学（北京）;2003年
9	李世林;基于BP神经网络的航空发动机失效模式与故障影响分析[D];南京航空航天大学;2003年
10	徐宏伟;机械零件可靠性设计理论研究[D];西安理工大学;2003年

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