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《机械科学与技术》 1990年02期
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真空物理气相离子沉积超硬薄膜技术及动向(上)

黄锡森  
【摘要】:正 随着机床设备的数控自动化等机械加工技术的迅速发展,需要有高精度、高效率、长寿命的切削工具相适应,因此,对刀具进行表面硬化处理,成为当今刀具改革的主要方面。近十数年来,刀具表面真空沉积超硬薄膜的技术异军突起,先后发展了TiN、TiC、Al_2O_3等镀层,技术经济效益显著。
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