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《机械工程师》 2013年06期
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超精密测量技术的应用进展

马爱民  马忠臣  
【摘要】:超精密加工的应用日益广泛,其加工精度和表面质量要求都很高,需要相应的超精密检测手段予以保证。激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化;电容传感器、X射线干涉仪、F-P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级,但因其测量范围通常较小,在应用中受一定限制。文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪,就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍。
【作者单位】黑龙江省冶金研究所;黑龙江省机械科学研究院;
【分类号】:TG806

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【共引文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【相似文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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