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《机械设计与研究》 2008年03期
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不同加载方式对微悬臂梁弹性系数的影响

刘庆玲  
【摘要】:悬臂梁的物理性能参数尤其是弹性系数对MEMS中微器件的性能有着重要的影响。根据材料的弹性小变形原理,分析了不同加载方式对悬臂梁弹性系数的影响。结果表明:悬臂梁在不同加载方式下,具有不同的弹性系数。其中,当其承受端部、中部集中载荷时,分别获得最小、最大弹性系数值。为满足不同应用要求,设计合理的加载方式提供了参考。
【作者单位】北京科技大学机械工程学院
【基金】:教育部科学技术研究重点资助项目(106018) 2007河北省科学与技术发展计划课题(07213550)
【分类号】:TH703
【正文快照】:
微悬臂梁在MEMS领域中有着广泛的应用,在原子力显微镜、微加速度传感器、RF MEMS中,微悬臂梁都是重要的组成部件,而且悬臂梁的物理性能参数,尤其是悬臂梁的弹性系数,是决定其性能的重要的参数。因此,研究悬臂梁的弹性系数及其影响因素是及其重要的。目前出现了多种用于标定悬

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
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【参考文献】
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【共引文献】
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【同被引文献】
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【二级引证文献】
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