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《机械管理开发》 2003年01期
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磁控溅射沉积氧化锌薄膜的原子力显微镜研究

李秀杰  
【摘要】:用扫描原子力显微镜(AFM)研究了射频磁控溅射工艺参数(功率、放电气体压力、氧气分压强等)对ZnO透明导电薄膜微结构的影响。
【作者单位】太原理工大学
【分类号】:TN16

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 洪剑寒;王鸿博;魏取福;;氩气压强对PET基磁控溅射银膜结构及导电性能的影响[J];材料导报;2006年S2期
2 王鸿博;魏取福;高卫东;;PET基纳米Ag薄膜导电性能及AFM分析[J];材料导报;2007年S3期
3 洪剑寒;王鸿博;魏取福;高卫东;;磁控溅射法制备纳米Ag薄膜的AFM分析和导电性能[J];纺织学报;2006年09期
4 王鸿博;赵晓燕;洪剑寒;杜矗;金昭;;PET基纳米结构Ag薄膜结构及导电性能[J];纺织学报;2007年02期
5 孟灵灵;魏取福;黄新民;;氩气压强对涤纶织物表面溅射银膜特性的影响[J];纺织学报;2012年04期
6 孟灵灵;黄新民;魏取福;;涤纶织物表面沉积银膜的特征研究[J];上海纺织科技;2010年10期
7 徐晓峰;陈小立;郭玉良;朱泉;孙兵;朱美芳;;磁控溅射法研制防紫外纳米铝膜涤纶织物[J];印染;2007年12期
8 张哲娟;张燕萍;高阳;褚家宝;孙卓;冯涛;陈奕卫;;CuCr合金催化剂制备条件对大电流CNTs阴极的影响[J];液晶与显示;2007年06期
9 王鸿博;魏取福;高卫东;;PET基纳米Ag薄膜导电及电磁屏蔽性能研究[J];真空科学与技术学报;2008年01期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 赵晓华;单晶硅基LaB_6薄膜的磁控溅射制备工艺及生长机制[D];山东大学;2011年
2 王鸿博;非织造基纳米银薄膜的制备及性能研究[D];江南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
2 杨丰帆;CdIn_2O_4薄膜的制备及光电性能研究[D];重庆大学;2006年
3 顾金宝;ZnO薄膜的制备与性能研究[D];合肥工业大学;2007年
4 徐文正;功能化纳米纤维原子力显微镜(AFM)表征研究[D];江南大学;2007年
5 王锦嫣;纳米结构非织造基抗菌功能材料的研究[D];江南大学;2007年
6 洪剑寒;磁控溅射制备电磁屏蔽纺织材料的性能研究[D];江南大学;2007年
7 夏兰;CdS/CdTe太阳能电池中CdS薄膜的制备及其特性研究[D];四川大学;2007年
8 赵绍英;沉积掺铝氧化锌涤纶非织造材料的性能研究[D];江南大学;2009年
【共引文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 程丙勋;磁控溅射制备Al膜和Cu膜的结构与性能研究[D];四川大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 商思善;屏波织物及其应用[J];安全与电磁兼容;2002年02期
2 王素英;平板型复合屏蔽材料屏蔽效能测试技术的研究[J];安全与电磁兼容;1995年02期
3 黄小融,郑家贵,蔡伟,黎兵,蔡亚平,朱居木,冯良桓;CdS多晶薄膜的电学性质[J];半导体光电;1998年06期
4 曹宝成,于新好,马洪磊,张庆坤;氢氟酸在新型清洗工艺中的作用[J];半导体技术;2002年07期
5 刘新福,孙以材,刘东升;四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J];半导体技术;2004年07期
6 贾嘉;溅射法制备纳米薄膜材料及进展[J];半导体技术;2004年07期
7 李素敏;赵玉涛;何维凤;戴起勋;张钊;;磁控溅射制备柔性衬底ZnO:Ga透明导电膜研究[J];半导体技术;2006年02期
8 张化福;袁玉珍;刘汉法;刘云燕;;掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J];半导体技术;2008年06期
9 邹璐,叶志镇;磁控溅射中生长参数对氧化锌薄膜性能的影响[J];半导体情报;2001年06期
10 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制[J];半导体学报;2000年04期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 蔡琪;新型Ag-ITO复合薄膜的制备、微结构及光电性质表征[D];安徽大学;2007年
2 王鸿博;非织造基纳米银薄膜的制备及性能研究[D];江南大学;2007年
3 徐静;磁控溅射SiO_2基LaB_6薄膜的制备工艺及性能[D];山东大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 汪丹;SiO_2基体上直流磁控溅射LaB_6/ITO复合薄膜的性能研究[D];山东大学;2011年
2 周贯宇;复合银系无机抗菌剂的制备及应用[D];浙江大学;2003年
3 李小换;ZnO和AlN薄膜结构及其性能的研究[D];北京工业大学;2003年
4 孙银洁;PET基氟碳膜形貌、结构及性能研究[D];青岛大学;2003年
5 陈小兵;溶胶凝胶法制备二氧化钛基抗菌薄膜及其性能研究[D];广东工业大学;2004年
6 梁丽梅;LaB_6纳米粉末及其复合薄膜的制备工艺及性能研究[D];山东大学;2009年
7 陈肖静;HIT电池表面钝化技术及ZnO透明导电膜的研究[D];江南大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王鸿博;魏取福;高卫东;;PET基纳米Ag薄膜导电性能及AFM分析[J];材料导报;2007年S3期
2 高秋瑾;王鸿博;高卫东;张倩;刘华;;丝织物基溅射纳米银薄膜的界面性能研究[J];材料导报;2010年S2期
3 孟灵灵;魏取福;黄新民;许凤凤;;磁控溅射工艺参数对涤纶织物表面沉积铜膜性能的影响[J];材料导报;2012年06期
4 王磊;郭兴峰;;磁控溅射工艺参数对钛金属镀膜涤纶织物耐磨性的研究[J];产业用纺织品;2011年10期
5 陈向标;江凯鹏;何剑江;赖明河;;磁控溅射技术在织物整理上的研究进展[J];纺织导报;2011年10期
6 王鸿博;赵晓燕;洪剑寒;杜矗;金昭;;PET基纳米结构Ag薄膜结构及导电性能[J];纺织学报;2007年02期
7 刘江峰;邓炳耀;高卫东;;纤维基ZnO/Ag/ZnO多层膜表面形貌的AFM观察[J];纺织学报;2008年08期
8 王鸿博;高卫东;何艳丽;李静;顾璐英;;磁控溅射PET非织造基银膜的微结构及性能[J];纺织学报;2009年02期
9 刘杰;杨斌;;基于溶胶-凝胶法的ITO透光导电膜制备[J];纺织学报;2009年07期
10 孟灵灵;魏取福;黄新民;;氩气压强对涤纶织物表面溅射银膜特性的影响[J];纺织学报;2012年04期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 王鸿博;非织造基纳米银薄膜的制备及性能研究[D];江南大学;2007年
2 张哲娟;铜基碳纳米管薄膜的制备及其场发射性能的研究[D];华东师范大学;2009年
3 王新建;溅射铜和铜合金薄膜的微观结构与性能[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 高秋瑾;溅射法制备抗菌丝织物及其性能研究[D];江南大学;2010年
2 高笑笑;静电自组装法固定化溶菌酶构筑羊毛抗菌表面[D];江南大学;2010年
3 马丽敏;硫化镉光电薄膜的制备及表征[D];吉林大学;2011年
4 安晓晖;稀土掺杂CdS薄膜的制备及性能研究[D];内蒙古大学;2011年
5 李代兵;微透镜阵列镍模芯微电铸工艺及表面质量研究[D];中南大学;2011年
6 周文剑;天然辉沸石载体抗菌剂的制备及其应用研究[D];广西师范大学;2011年
7 李刚;Ag/SiO_2复合纳米薄膜的光学性质[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 王文静;CdS纳米晶热溶剂合成及其薄膜的制备[D];天津大学;2010年
9 孙红燕;LSGM电解质薄膜制备与电化学性能研究[D];昆明理工大学;2011年
10 王锦嫣;纳米结构非织造基抗菌功能材料的研究[D];江南大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王卿璞,张德恒,薛忠营;射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光[J];半导体学报;2003年02期
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3 文军;陈长乐;;RF溅射稀土掺杂ZnO薄膜的结构与发光特性[J];光电工程;2008年08期
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5 隋瑛锐;姚斌;杨景海;;B-N共掺p型ZnO薄膜的制备及性质研究[J];吉林师范大学学报(自然科学版);2010年01期
6 李海峰;沈长斌;薛钰芝;李剑峰;申琳;;溶胶-凝胶法与磁控溅射法制备ZnO薄膜性能对比研究[J];材料导报;2008年S1期
7 赵平;夏义本;王林军;刘健敏;苏青峰;阮建峰;史伟民;;多层式金刚石膜上沉积ZnO薄膜的研究[J];压电与声光;2007年03期
8 张涛;潘石;刘明;王贺陶;赵万利;;原子力显微镜结合拉曼光谱仪对不同氧分压制备ZnO薄膜性能研究[J];激光杂志;2008年03期
9 吕珂;;不同氧压下脉冲激光沉积ZnO薄膜的研究[J];科技经济市场;2009年05期
10 贺洪波,范正修,姚振钰;多种基底上溅射沉积ZnO薄膜的结构[J];功能材料与器件学报;1999年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张坤;齐浩;任兆玉;陈文芳;刘颖;艾霞;;UV诱导的细胞DNA损伤检测[A];第七届全国光生物学学术会议论文摘要集[C];2010年
2 孙剑楠;季宇彬;汲晨锋;;羊栖菜多糖(SFPS-B2)的原子力显微镜观察[A];2008年全国糖生物学学术会议论文摘要[C];2008年
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5 叶志义;张丽;范霞;;原子力显微镜研究加载速率对细胞弹性的影响[A];第九届全国生物力学学术会议论文汇编[C];2009年
6 李学丰;张高勇;董金凤;周晓海;洪昕林;严肖慈;罗明道;;原子力显微镜研究囊泡在云母表面形成的结构[A];中国化学会第十届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2004年
7 张亦奕;贺节;商广义;姚骏恩;;原子力显微镜及应用[A];第八次全国电子显微学会议论文摘要集(Ⅱ)[C];1994年
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9 鲁晶晶;景黎君;李尽义;韩瑞;方桂远;彭涛;张博爱;贾延劼;;Caveolin-1对大鼠骨髓间充质干细胞神经分化影响的原子力显微镜观察[A];中华医学会第十三次全国神经病学学术会议论文汇编[C];2010年
10 褚明福;肖洒;邹乐西;仲敬荣;任清波;;金属铀氧化的拉曼光谱和原子力显微镜在线研究[A];中国工程物理研究院科技年报(2008年版)[C];2009年
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2 龙飞;基于原子力显微镜的高效率DNA纳米操纵系统设计与应用[D];上海交通大学;2011年
3 马艳;ZnO薄膜的MOVPE法生长、掺杂及X光取向研究[D];吉林大学;2004年
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10 李立新;材料表面纳米尺度力学及电学特性的原子力显微镜研究[D];燕山大学;2006年
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1 张波;ZnO薄膜的制备及其掺杂研究[D];东华大学;2006年
2 任思雨;射频磁控溅射氧化锌薄膜的制备、改性及光催化性能研究[D];暨南大学;2005年
3 赵杰;热氧化法与PLD法制备ZnO薄膜及其特性[D];大连理工大学;2005年
4 黄飞程;CD_8~+T细胞表面受体分析和骨形态蛋白对人乳腺癌细胞的作用及机理研究[D];暨南大学;2010年
5 于淼;癌细胞纳米力学性能测试方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
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7 贾小龙;直流磁控溅射制备ZnO光电薄膜的研究[D];华中科技大学;2004年
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