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《计量学报》 2008年04期
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非同步采样法的光栅纳米测量

徐从裕  余晓芬  
【摘要】:光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数。基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅信号采样精度,选用市场上货源丰富的、低成本的扫描式多通道模数转换卡,即可实现光栅纳米测量所需的高倍数细分。在测量的启停时刻对光栅信号进行精确测量,在测量过程中对光栅信号进行快速跟踪测量。实验表明,当采用15位200 kHz的A/D转换卡对20μm栅距的光栅信号进行非同步采样时,可以得到小于1 nm的测量分辨率及大于120 mm/s的测量速度。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 余晓芬;马文平;程伶俐;;基于磁流变阻尼固紧器的工作台定位研究[J];中国机械工程;2010年12期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 王志军;基于激光雷达测量原理的火箭推力线测量技术研究[D];长春理工大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 李怀琼,陈钱,庄小栋;新型光栅信号数字细分技术及其误差分析[J];电子测量与仪器学报;2001年03期
2 徐从裕;余晓芬;;基于互补函数算式的光栅快速细分方法[J];电子测量与仪器学报;2006年03期
3 苏绍景,吕海宝,李圣怡;基于DSP的宽动态范围莫尔条纹计数与精密细分技术[J];光学精密工程;2001年02期
4 邹自强;论纳米光栅测量技术[J];纳米技术与精密工程;2004年01期
5 余文新,胡小唐,邹自强;一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法[J];天津大学学报;2002年01期
6 楚兴春,吕海宝,杜列波,周卫红;莫尔条纹交点跟踪计数细分法[J];宇航计测技术;2004年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 武佳贺;郑玮;马建立;李洪祚;;基于CPLD的光栅信号快速细分技术的研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2007年01期
2 张珂;杨其华;李冰;李浩;;基于霍尔器件的非接触式角度传感器研制[J];传感技术学报;2008年06期
3 楚兴春,吕海宝,杜列波;正交莫尔(干涉)条纹区段跟踪计数细分法[J];测试技术学报;2004年03期
4 张兴华;王克逸;;光栅信号电阻链高倍细分法的误差校正的研究[J];电子测量技术;2008年07期
5 江晓军;黄惠杰;王向朝;;基于光栅传感器的位移测量仪的研制[J];电子测量技术;2008年07期
6 徐从裕;余晓芬;;基于互补函数算式的光栅快速细分方法[J];电子测量与仪器学报;2006年03期
7 徐从裕;余晓芬;;基于小波差动模式的双模态超声波电机驱动特性研究[J];电子测量与仪器学报;2008年02期
8 张立;周鲁飞;谈宜东;张书练;;纳米级分辨率双频激光回馈位移测量系统[J];电子测量与仪器学报;2009年04期
9 蒋培军 ,沈全洪 ,李晟 ,李庆祥;用于高密度母盘刻录系统的专用运动控制卡的研究[J];电子技术应用;2005年01期
10 朴伟英;袁怡宝;张志杰;李晶;;基于CPLD的只读存储器细分技术研究[J];电子器件;2008年02期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
2 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
3 徐从裕;余晓芬;;快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王志军;基于激光雷达测量原理的火箭推力线测量技术研究[D];长春理工大学;2011年
2 曲伟;基于调变光程方法的泰伯微位移检测系统研究[D];黑龙江大学;2011年
3 杨定新;微弱特征信号检测的随机共振方法与应用研究[D];国防科学技术大学;2004年
4 周文祥;非正交系坐标测量机理论及轮轨外形测量技术研究[D];西南交通大学;2005年
5 夏豪杰;高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究[D];合肥工业大学;2006年
6 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
7 节德刚;宏/微驱动高速高精度定位系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 周成刚;二维零位光栅原理及其实验系统研究[D];中国科学技术大学;2007年
9 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
10 张南洋生;多谱段空间光调制三维形貌测量技术[D];华中科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈娟;容栅式地层抬动测量装置的研制[D];中南大学;2011年
2 张志刚;光电编码器细分误差分析及补偿研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 王帅;高精度多对极磁电式编码器研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 王国超;双波长单光栅大量程纳米级位移测量方法的研究[D];国防科学技术大学;2010年
5 韩春阳;白光干涉的信号解调与处理的若干实用化技术研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
6 赵岩;编码器测速方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 陈雅磁;基于FPGA与单片机的高精度电子经纬仪光电信号处理系统研制[D];南京理工大学;2004年
8 海涛;数字式干涉型光纤传感器条纹电子计数细分实现方案研究[D];哈尔滨工程大学;2005年
9 杜列波;纳米级光栅位移测量中关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2004年
10 张小凡;基于DSP的数字球径仪系统研制[D];南京理工大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张持健,陈建平,沈宏;虚拟仪器实验平台的汉化技术及实现[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2001年04期
2 宁殿民;余钢;李文宾;张鹏;;提高沉降观测精度方法[J];鞍山科技大学学报;2006年02期
3 曾汉平;李登红;;潜水异步电机转速高准确度测量方法研究[J];安徽水利水电职业技术学院学报;2008年03期
4 田桂军,袁亚雄,张小兵;库存弹药内弹道性能检测方法研究[J];兵工学报;2004年02期
5 杨瑞宁;安志勇;曹维国;向阳;刘立欣;;光学瞄具出瞳直径、出瞳距离与放大率现代测试技术研究[J];兵工学报;2008年09期
6 王少文;;基于VBA的Excel常用测量函数开发[J];北京测绘;2008年02期
7 高绍伟;;激光铅垂仪向上投点在地铁隧道工程中进行联系测量的实践[J];北京测绘;2008年02期
8 刘枝梅;邓文怡;娄小平;;结构光测量系统中光条中心的提取算法[J];北京机械工业学院学报;2009年01期
9 余明浪;魏振忠;孙军华;;基于柔性平面靶标的摄像机现场标定方法[J];北京航空航天大学学报;2009年03期
10 王伟;贠超;孙坤;王媛媛;;机器人修形磨削工具坐标系的精确标定方法[J];北京航空航天大学学报;2009年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 乔珊;;异构平台CAD/CAM系统之间信息传递与数据接口的指导性意见与准则研究[A];中国造船工程学会2007年优秀学术论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 卞晓东;基于机器视觉的车辆几何尺寸测量系统研究[D];东南大学;2005年
2 杨洪涛;坐标测量机误差建模与修正技术研究[D];合肥工业大学;2007年
3 田美丽;结晶器搅拌桨快速设计与制造关键技术研究[D];天津大学;2007年
4 史庆伟;特种脆性材料回转体零件内外表面自动测量系统研究[D];天津大学;2007年
5 王学影;关节臂式坐标测量机系统研究[D];天津大学;2008年
6 李秀明;精密制造中典型平面曲线的识别及形状误差评定研究[D];北京工业大学;2009年
7 汤洁;齿轮双面啮合多维测量理论及技术研究[D];北京工业大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邹锋;坐标测量法中圆参数测量不确定度的研究[D];合肥工业大学;2005年
2 王海洲;数控加工物理仿真精度预测技术研究[D];西安电子科技大学;2006年
3 赵士华;工业安装测量与检测技术研究及应用[D];河海大学;2006年
4 左延红;轴类零件自动检测系统研究[D];兰州理工大学;2006年
5 李爱林;柔性臂三坐标测量机原型的研究与开发[D];浙江大学;2006年
6 刘汉平;用图形仿真方法评估编码器细分误差[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
7 李洪;光电轴角编码器细分误差快速评估[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
8 周磊;准绝对式M码光电轴角编码器的研究[D];吉林大学;2006年
9 胡险峰;上海市水闸泵站自动监测系统建设与应用研究[D];河海大学;2006年
10 冯春丽;基于改进型BP网络图像压缩方法的研究[D];辽宁工学院;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 邹自强;精密圆刻度机上的几个问题[J];测绘学报;1963年01期
2 吴晓峰;;一种智能式光栅莫尔条纹信号800细分与计数新方法[J];电子测量与仪器学报;1991年02期
3 李怀琼,陈钱,庄小栋;新型光栅信号数字细分技术及其误差分析[J];电子测量与仪器学报;2001年03期
4 邹自强;;0.2秒圆刻机的基本原理[J];光学机械;1983年02期
5 苏绍景,吕海宝,李圣怡;基于DSP的宽动态范围莫尔条纹计数与精密细分技术[J];光学精密工程;2001年02期
6 李江国,宣明,王一凡;莫尔条纹细分中相位误差的软件补偿方法[J];光学精密工程;1995年01期
7 曹国荣,曹俊卿,陈家璧;正交光栅信号的脉宽调制细分技术[J];光学仪器;1997年03期
8 朱彦芳;实现计量光栅高细分的比率幅值法[J];航空精密制造技术;1995年04期
9 邹自强;精密主轴的双周晃动现象[J];计量学报;1982年04期
10 邹自强;一种精密轴系[J];计量学报;1984年03期
【相似文献】
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1 轼崙;;科学家与计量学命名——贝塞耳公式与贝塞耳[J];计量技术;1987年12期
2 田社平,韦红雨,颜德田;基于遗传算法的l_p数据拟合及其应用[J];计量学报;2005年03期
3 徐守江;朱庆保;;基于微粒群算法的l_p数据拟合及其应用[J];南京师范大学学报(工程技术版);2006年03期
4 梁国伟;赵伟国;朱家顺;黄震威;杨松迎;梁一灵;;基于组合铂膜探头的气体流量计实验研究与数据处理[J];计量学报;2008年05期
5 胡敏;李晓莹;常洪龙;蒋庆华;;基于ASIC芯片的微小电容测量电路研究[J];计量学报;2007年04期
6 吕进;毛谦敏;刘辉军;林敏;冯爱明;孔新雄;王昊;庄松林;;移动式现场定量包装商品净含量检定系统的研制[J];计量学报;2006年04期
7 孟涛;王池;陈晓铭;;流量装置中换向器检定方法的研究[J];计量学报;2008年05期
8 ;计量学报1986年分类目录[J];计量学报;1986年04期
9 杨世梁,张志勇;计量学邯钢 企业出效益[J];工业计量;1998年04期
10 张玉存;李群;;一种新型扭矩传感器校验仪[J];计量学报;2006年03期
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1 黄建明;;港口航道工程中精密水下地形测量的实现[A];港口工程分会技术交流文集[C];2005年
2 董峰;冯士刚;汲业;唐一源;;CAM方法在磁共振数据处理中的应用[A];第十次中国生物物理学术大会论文摘要集[C];2006年
3 李圣明;;时间序列分析及其在变形监测中的应用研究[A];湖北省测绘学会2006年度科学技术交流会论文集[C];2006年
4 高聪梅;宋超;陈东明;;固定电话客户CDR数据挖掘系统的实施[A];2007中国科协年会——通信与信息发展高层论坛论文集[C];2007年
5 万军;王丽华;崔银秋;闫世虎;;长江口航道GPS控制网数据处理与应用分析[A];华东地区第十次测绘学术交流大会论文集[C];2007年
6 张伟国;;离石隧道Ⅴ级围岩地段的监控量测[A];矿山建设工程技术新进展——2008全国矿山建设学术会议文集(下)[C];2008年
7 万军;王丽华;崔银秋;闫世虎;;长江口航道GPS控制网数据处理与应用分析[A];中国航海学会航标专业委员会测绘学组学术研讨会学术交流论文集[C];2008年
8 成英燕;丁继新;;我国高精度GPS陆海垂直运动监测网的数据处理[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
9 孟海利;郭峰;;爆破地震波主频率的试验研究[A];第八届全路工程爆破学术会议铁道工程爆破论文集[C];2009年
10 朱寿民;;夏普(SHARP)PC-1500计算机用于营养调查数据处理的程序设计的研究[A];中国营养学会第四届全国学术会议论文摘要汇编[C];1984年
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1 记者 许彦鸿;“五普”数据处理要万无一失[N];中国信息报;2000年
2 记者 郝小爱;数据处理有了好帮手[N];中国信息报;2000年
3 朱振岳 王颖 顾佳隽;打“计量特色”牌 走“质量创新”路[N];中国教育报;2008年
4 张桂琛;摩托罗拉推出新型语音和数据处理引擎[N];通信产业报;2001年
5 黄乐富;中国计量学院创新教学管理模式[N];光明日报;2008年
6 安徽省歙县中学 范德生;Excel 2003数据处理三则[N];中国电脑教育报;2005年
7 毕晓光 贾岳嵩 顾家隽;中国计量学院:打造“计量”金名片[N];中国教育报;2005年
8 陆健王颖 顾佳隽;学生受益 家长满意 社会认同[N];光明日报;2008年
9 肖升初;经普数据处理不可忽视[N];中国信息报;2005年
10 记者 万明秀;金维地学信息处理系统实现跨平台运行[N];地质勘查导报;2008年
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1 熊智新;基于小波变换的化学谱图数据处理[D];浙江大学;2004年
2 张新宇;联邦式仿真运行数据处理的共同支持框架研究[D];国防科学技术大学;2009年
3 张勇;粗糙集—神经网络智能系统在浮选过程中的应用研究[D];大连理工大学;2006年
4 戴冬雪;国家电容标准的扩展频段计量技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 陶鹍;干涉合成孔径雷达数据处理及仿真研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
6 雍小嘉;采用知识发现技术判断方剂功效的方法研究[D];成都中医药大学;2006年
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10 徐抗震;激光选育混合菌发酵苹果渣生产饲料蛋白的研究[D];西北大学;2005年
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1 郎福成;真空断路器机械特性在线监测 [D];沈阳工业大学;2005年
2 刘震;质谱仪软件平台的研究与开发[D];吉林大学;2005年
3 刘鹤冰;广惠高速公路小金口双连拱隧道监测及有限元数值分析[D];西南交通大学;2004年
4 胡鹏;谷物产量数据处理及产量分布图生成系统的开发研究[D];江苏大学;2005年
5 黄冰;电测深数据处理软件ELECSLICE的开发[D];太原理工大学;2005年
6 张歆昱;基于心理声学模型的音频数据隐藏算法研究[D];华中科技大学;2005年
7 颜昌彬;基于VC和SQL Server的实验数据库系统研究[D];武汉理工大学;2006年
8 陈晨;水体污染物拉曼光谱检测的数据处理与建库技术[D];华中师范大学;2006年
9 吴磊;x射线测厚仪的硬件设计与实现[D];北京化工大学;2007年
10 菅美枝;福州西区水厂变电站综合自动化的改造与实施[D];上海交通大学;2008年
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