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《计量技术》 2005年11期
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纳米级电容测微系统的研究

于永新  周涛  郑义忠  
【摘要】:本文首先介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述了纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等关键技术问题,对典型驱动电缆方案作了比较。根据原理模型,给出了仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行了详细的分析,并提出了相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨力达到0.1nm,测量范围±2~±50μm,满量程非线性优于0.5%。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度动、静态微位移测量及纳米定位。

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