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《激光杂志》 2018年01期
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采用旋转光程法提高PSD微小角度测量分辨率

王海月  王艳林  陈青山  刘力双  耿蕊  
【摘要】:基于PSD的微小角度测量的测量方法中光程越大,分辨率越高。对于高精度精密测量组件,特别是光机电一体化的组件,有限空间限制了光程长度,角分辨率通常只有十几微弧度,因此提高角分辨率的困难之处在于有限空间的结构件中加大光程。论文提出一种新型旋转型光路装置,充分利用空间,增加光程以提高分辨率。实验结果表明,所提出的旋转光路拉伸法可以有效地提高角分辨率,通过旋转光路设置将光程由108mm提高至500mm时,分辨率由14μrad提高到3μrad。

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