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《激光杂志》 2005年03期
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全光网络中的MEMS光开关

赵继德  李应良  
【摘要】:介绍了目前国内外光纤通信系统中所涉及的电磁驱动移动式MEMS光开关、静电驱动式光开关、基于MEMS光大器的可扩展型光开关矩阵、喷墨气泡MEMS光开关、开环式1×N波长选择MEMS光开关。对这些器件的结构原理,制造方法及其性能指标作了分析。把这些器件的性能指标和当前光纤通信系统中的光开关的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景。最后,对MEMS光开关做出了展望,指出了今后MEMS光开关的进一步研究方向。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 胡剑;李刚炎;;基于MEMS的光开关技术研究[J];半导体技术;2007年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 贾翠萍;硅基8×8MEMS光开关阵列关键技术的研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王中生;微电机系统1×2光开关参数研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李应良,潘武;射频系统中MEMS谐振器和滤波器[J];光学精密工程;2004年01期
2 李应良,陈禹;光纤通信中MEMS器件及应用[J];光通信技术;2003年05期
3 兰卫华,明安杰,梁静秋;国内MOEMS光开关的研究现状[J];光通信技术;2004年04期
4 缪庆元,胡振华,王涛,黄德修,刘德明;基于半导体光放大器的可扩展型光开关矩阵[J];激光技术;2003年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 唐孝明,唐高弟,张海;薄膜体声波谐振器技术[J];微纳电子技术;2005年08期
2 李苹,王俊华,万红;光开关技术研究[J];光通信技术;2004年04期
3 张昱;潘武;;折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析[J];光学精密工程;2005年S1期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
2 贾翠萍;硅基8×8MEMS光开关阵列关键技术的研究[D];吉林大学;2007年
3 张歆东;基于聚合物液晶材料的可变光衰减器的研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
2 晏辉鸣;微加工型光无源器件的设计,制作与分析[D];浙江大学;2005年
3 兰卫华;MOEMS光开关阵列芯片的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
4 马雯;基于MEMS的微型ICP光谱激发源研究[D];河北大学;2006年
5 卿翔;提高可变光纤延迟线精度的研究[D];电子科技大学;2006年
6 刘伟;自适应的接收机前端与调谐滤波器的研究[D];电子科技大学;2006年
7 赵莉娜;MOEMS光开关封装的设计与制作[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
8 林晓珠;LiNbO_3高速光开关及其在红宝石慢光实验中的应用[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 杨华;微机械谐振器/滤波器通带特性分析及结构鲁棒设计[D];东南大学;2005年
10 徐瀚;长途干线光线路保护系统研究与应用[D];上海交通大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨四刚,潘晴,胡必春,李林;基于固体腔F-P标准具的可调谐自适应光滤波器[J];半导体光电;2003年02期
2 袁明权;硅基微机械加工技术[J];半导体技术;2001年08期
3 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
4 赵波,李宏生;MEMS光开关的研究与进展[J];微纳电子技术;2004年02期
5 刘梅刚,万江文;全光网络中的MEMS光开关研究新进展[J];微纳电子技术;2004年05期
6 王刚,明安杰,梁静秋;光开关研究进展[J];微纳电子技术;2005年04期
7 梁春广,徐永青,杨拥军;MEMS光开关[J];半导体学报;2001年12期
8 孙东明,董玮,郭文滨,刘彩霞,王国东,徐宝琨,陈维友;MOEMS光开关动力学过程分析[J];半导体学报;2005年07期
9 张龙,董玮,刘彩霞,张歆东,陈维友,徐宝琨;利用(110)硅片制作微反射镜[J];吉林大学学报(信息科学版);2003年02期
10 丁原,王智,杨文波;光纤准直器结构研究与设计[J];长春大学学报;2005年02期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
2 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
3 孙东明;扭臂结构的MEMS静电微驱动器的特性研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 刘东栋;一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究[D];浙江大学;2002年
2 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
3 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
4 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
5 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
6 兰卫华;MOEMS光开关阵列芯片的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
7 马志波;MEMS微变形镜测试及工艺防粘附技术研究[D];西北工业大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 张新亮,任雪斌,刘雪峰,黄德修;半导体光放大器增益饱和特性的研究[J];半导体技术;1997年06期
2 云振新;RF/微波无线系统中的MEMS技术[J];微纳电子技术;2002年02期
3 潘武,钟先信,巫正中;微机械微带贴片天线研究[J];光学精密工程;2001年03期
4 潘武,钟先信,巫正中;无线通信系统中的微尺度射频元件[J];光学精密工程;2001年04期
5 季国顺,张永康;微机械系统建模与仿真技术研究[J];光学精密工程;2002年06期
6 潘武,钟先信,刘积学;微机电系统(ME MS)的仿真和模型分析(英文)[J];光学精密工程;2003年01期
7 赵晓峰,温殿忠;MEMS研究与发展前景[J];黑龙江大学自然科学学报;2002年01期
8 刘德明,胡晓君,徐文超,黄德修;基于SOA的有源光开关技术的研究[J];华中理工大学学报;1999年10期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 倪烨;戴强;张怀武;钟智勇;于奇;;MEMS中硅湿法深槽刻蚀工艺的研究[J];材料导报;2011年08期
2 尹邦政;朱静;;一种基于MEMS技术的数字式可调光衰减器的实现[J];科技资讯;2011年19期
3 李丽君;曹莹;周秀丽;于国亮;;光纤布拉格光栅非线性双稳开关特性研究[J];光通信研究;2011年04期
4 陈直;陈抱雪;隋国荣;李倩;;LiNbO_3基Sn-As_2S_8单偏振单模波导电光开关的设计[J];光学仪器;2009年03期
5 张晓丹;柯熙政;张志禹;张琦;;微电子机械系统数字地震检波器模拟方法的研究[J];机械科学与技术;2011年09期
6 苏亚辉;崔洪涛;杨云杰;汪金礼;黄文浩;;飞秒激光并行光学存储系统设计及仿真[J];光电工程;2011年06期
7 高岩;张国峰;王晓波;肖连团;贾锁堂;;声光延迟效应用于消除微弱背景光噪声[J];光电工程;2011年06期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
2 赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2011年
3 许建军;孔学东;李斌;师谦;;MEMS封装技术及其可靠性[A];中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会论文选[C];2006年
4 金翠云;李一博;靳世久;王立坤;;MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
5 钮利荣;李拂晓;王学之;林金庭;刘庭华;章文勋;;Ku波段单片MEMS砷化镓振荡器和辐射天线[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
6 范细秋;张鸿海;胡晓峰;贺德建;;一种与集成电路工艺兼容的三维结构刻蚀技术研究[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
7 陈大鹏;焦彬彬;李超波;石莎莉;史海涛;程腾;张青川;伍小平;;非制冷MEMS红外成像系统[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
8 陈兴;崔大付;刘长春;苏波;王海宁;;多孔氧化硅微流控DNA提取芯片的研制[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
9 傅佳辉;吴群;;RF MEMS移相器馈电网络的研究[A];2009安捷伦科技节论文集[C];2009年
10 刘瑞华;梁荣强;;IIR滤波器在MEMS陀螺仪数据处理中的应用[A];全国第一届信号处理学术会议暨中国高科技产业化研究会信号处理分会筹备工作委员会第三次工作会议专刊[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
2 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
3 记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年
4 吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
5 中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任 曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
6 ;提高MEMS麦克风性价比是关键[N];中国电子报;2009年
7 上海硅知识产权交易中心;MEMS麦克风发展迅速 全球专利量呈上升趋势[N];中国电子报;2010年
8 本报记者 诸玲珍;MEMS麦克风市场升温 国内企业积极跟进[N];中国电子报;2009年
9 ;用MEMS方法制备麦克风刻不容缓[N];中国电子报;2009年
10 本报记者 许泳;3D MEMS 传感器深入应用市场[N];计算机世界;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
2 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
3 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
4 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
5 卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
6 陈建军;基于MEMS技术的细胞破碎微流控芯片系统研究[D];华中科技大学;2010年
7 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
8 黄闯;基于左右手复合传输线和MEMS的新型微波器件研究[D];上海交通大学;2010年
9 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
10 刘红梅;用于MEMS的PZT压电厚膜及硅基压电悬臂梁的制备研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
2 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
3 占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
4 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
5 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
6 潘建旋;基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制[D];吉林大学;2005年
7 高晴;载流子注入型MMI光开关设计[D];浙江大学;2006年
8 张冰娜;数字型集成热光光开关阵列波导研究[D];华中科技大学;2004年
9 程美英;硅基微机械红外光源的设计和制备[D];厦门大学;2009年
10 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
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