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《激光技术》 1983年03期
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真空镀制干涉薄膜时监控片高度的计算

丁方  
【摘要】:正 在用真空热蒸发介质镀制干涉薄膜时,膜层的厚度通常是用光电光度法进行控制的,其中用窄带干涉滤光片分出单色控制光束。这时,为了在镀件上得到光学厚度为λ/4的膜层(λ是监控滤光片的中心波长),镀件样品应放置在蒸发源上方一定的高度处。但常常需要这样的镀层,它们的光学厚度并不等于现存滤光片中心波长λ的四分之一。为了达到这一目的,

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