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《激光与红外》 1993年01期
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采用多晶硅制造高速光导开关(Au:Si-PCSS)的研究

赏宝珩  吴通锡  
【摘要】:首次报导采用多晶硅制造高速光导开关取得缩短寿命至10ns以下并改善光控灵敏度。分析了原理并涉及工艺等问题。文中对GaAs与Si两种材料的PCSS作了比较。

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