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《激光与红外》 1991年04期
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准分子激光溅射法制备高温超导薄膜机理研究的新进展

范永昌  安承武  李再光  陆冬生  
【摘要】:本文简要介绍准分子激光溅射法制备高温超导薄膜的实验技术。重点阐述了近年来由大量实验研究所揭示出的激光溅射及成膜过程的一些基本特点和规律。同时,对准分子激光制膜保成份蒸镀这一独特优点的机制进行了深入的讨论。

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