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《激光与红外》 1985年05期
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激光微加工

吉川省吾  
【摘要】:正 激光微加工现已成为激光应用的一个重要分支。由于微电子学的发展,高功率Nd:YAG激光器和CO_2。激光器以及光纤的实用化,才有今日的激光微加工的应用地位。微电子学在要求小型和高集成化的同时,还需要有能低成本批量生产的制作工艺。为此,以微型高速、高精度加工和容易实现程序控制为特点的激光加工技术,迅速朝着实用化方向发展,可以说,微电子学的发展是微调、修复和打标记等激光微加工的发展原动力。一、激光微加工用的激光器目前在激光微加工应用中,Nd:YAG激

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