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《激光与光电子学进展》 1999年01期
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激光微加工应用潜力的调查

【摘要】:微加工的一个极为重要的应用是集成电路芯片的制造,因为集成电路芯片尺寸在变小而电路复杂度却不断增加。激光微加工技术对两个方面皆有贡献,既能提高电路复杂度,又不多占芯片空间。随着高级终端微处理器和控制芯片的管脚数目超过208个,一些独创性的技术如球状格子...
【分类号】:TG665,TN249

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