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《激光与光电子学进展》 2019年10期
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基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器

姜源  江毅  张柳超  王素梅  
【摘要】:设计了一种基于飞秒激光加工的无膜式光纤气体压力传感器。通过熔接形成了单模光纤-空心光纤-无芯光纤(NCF)结构,熔接结构中的两个熔接面作为反射面,构成一个低精细度的外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)。利用飞秒激光加工结构中的空心光纤部分,烧蚀出一个与外界环境连通的小孔。外界气体压力的变化引起EFPI腔中气体折射率发生变化,通过测量法布里-珀罗腔的光学腔长,得到对应的外界气体压力。实验结果表明,传感器在0~5MPa压力范围内的腔长-压力灵敏度为1.02μm/MPa,传感器的压力分辨率为2.4kPa。该压力传感器具有量程大、灵敏度高、分辨率高和线性度高等优点。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 夏博;姜澜;王素梅;闫雪亮;刘鹏军;;飞秒激光微孔加工[J];中国激光;2013年02期
2 杨春弟;王鸣;葛益娴;戴丽华;;微型非本征光纤法布里-珀罗压力传感器[J];光学学报;2010年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵士强;李凌;;飞秒脉冲激光烧蚀金膜的相变传热研究[J];光学学报;2015年12期
2 田润妮;王俊波;邱荣;周强;蒋勇;杨永佳;;纳秒和飞秒激光烧蚀单晶硅的超快诊断[J];激光技术;2015年06期
3 邓庆维;黄永光;朱洪亮;;25%效率晶体硅基太阳能电池的最新进展[J];激光与光电子学进展;2015年11期
4 吕涛;陈昉;;微秒聚焦激光剥蚀铁靶实验设计[J];物理实验;2015年08期
5 张军战;王禹茜;张颖;刘永胜;;飞秒激光进给速度对TiC陶瓷微孔加工的影响[J];光学精密工程;2015年06期
6 林远添;郭亮;张庆茂;程黄彬;云志强;;超短脉冲激光钢箔打孔效果及锥度改善[J];应用激光;2015年03期
7 邢松龄;刘磊;邹贵生;张学谦;白海林;YN Zhou;;飞秒激光参数对石英玻璃微孔加工的影响[J];中国激光;2015年04期
8 吴振海;刘铁根;江俊峰;刘琨;王双;尹金德;邹盛亮;秦尊琪;吴凡;;热应力和残余气压对光纤法布里-珀罗压力传感器温度性能的影响[J];光学学报;2015年03期
9 吴东江;周思雨;马广义;姚龙元;;飞秒激光精密减薄石英玻璃凹槽实验[J];中国激光;2015年03期
10 王浩竹;杨丰赫;杨帆;聂美彤;杨建军;;飞秒激光在金属钼表面诱导产生纳米量级周期条纹结构的研究[J];中国激光;2015年01期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 成洁;杨明红;王闵;戴玉堂;;基于飞秒激光加工的马赫-曾德尔干涉氢气传感器[J];光学学报;2012年07期
2 周侃;冯东海;李霞;贾天卿;刘建胜;徐至展;;飞秒激光诱导ZnO:Al薄膜周期结构及其光致发光特性[J];光学学报;2011年08期
3 钟敏霖;范培迅;;激光纳米制造技术的应用(邀请论文)[J];中国激光;2011年06期
4 刘为俊;饶云江;冉曾令;廖弦;;基于激光微加工的新型光纤法布里-珀罗折射率传感器[J];光学学报;2008年07期
5 王维;饶云江;唐庆涛;邓明;朱涛;程光华;;飞秒激光加工的微型光纤法布里-珀罗干涉传感器[J];中国激光;2007年12期
6 熊先才;朱永;符欲梅;章鹏;陈伟民;张永兴;;光纤法珀传感器及其在桥梁应变监测中的应用[J];重庆建筑大学学报;2007年03期
7 于清旭;王晓娜;宋世德;赵业卫;崔士斌;;光纤F-P腔压力传感器在高温油井下的应用研究[J];光电子.激光;2007年03期
8 章鹏,朱永,唐晓初,陈伟民;基于傅里叶变换的光纤法布里-珀罗传感器解调研究[J];光学学报;2005年02期
9 张桂菊,于清旭,宋世德;基于F-P腔的干涉/强度调制型光纤温度传感器[J];中国激光;2005年02期
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1 邱建荣;;飞秒激光应用前沿[J];国际学术动态;2010年02期
2 梁德志;王敏;杜晨林;伍晓宇;;飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究[J];激光技术;2017年02期
3 ;飞秒激光改变聚苯乙烯的润湿性[J];光电工程;2017年04期
4 高斯;王子涵;滑建冠;李乾坤;李爱武;于颜豪;;飞秒激光加工蓝宝石超衍射纳米结构[J];物理学报;2017年14期
5 马明毅;;飞秒激光改性硅材料的物理机理及其性质研究[J];科学家;2016年16期
6 周国栋;;材料微加工中飞秒激光的应用分析[J];知音励志;2017年05期
7 孙思明;孙允陆;刘东旭;陈岐岱;董文飞;孙洪波;;飞秒激光直写制备蛋白质功能化器件[J];激光与光电子学进展;2013年08期
8 席炜;;更快、更高、更强——飞秒激光[J];现代物理知识;2010年02期
9 王雷剑;张海峰;张骥;徐永生;;飞秒激光系统的运行和改进[J];中国原子能科学研究院年报;2005年00期
10 王清月;;飞秒激光技术与相关学科[J];中国激光;1994年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 蒋红兵;钟凤娇;龚旗煌;;分子取向对飞秒激光传输的影响[A];第八届全国光学前沿问题讨论会论文集[C];2009年
2 鲁欣;张喆;奚婷婷;郝作强;梁文锡;王兆华;刘勋;马媛媛;张杰;;飞秒激光在大气中产生的等离子体通道的物理性质研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
3 龚旗煌;郭亨长;王曦;罗乐;吴朝新;郭红沧;蒋红兵;杨宏;;飞秒激光微制备技术的原理与应用[A];北京光电子学青年学术论坛论文集[C];2003年
4 谷渝秋;焦春晔;周维民;陈豪;王光昶;温天舒;葛芳芳;刘红杰;黄文忠;尤永禄;何颖玲;温贤伦;;飞秒激光与等离子体相互作用中自生磁场的测量[A];中国工程物理研究院科技年报(2003)[C];2003年
5 贾天卿;徐至展;李晓溪;孙海轶;冯东海;李成斌;徐世珍;王晓峰;韦中超;赵福利;;飞秒激光作用下全向介质高反膜破坏的激发过程(英文)[A];2004年全国强场激光物理会议论文集(二)[C];2004年
6 龚旗煌;;飞秒激光微纳加工技术及应用[A];全国激光应用技术前沿发展报告会论文集[C];2005年
7 魏志义;王兆华;田金荣;令维军;贾玉磊;张军;韩海年;王鹏;孙敬华;郑加安;张杰;聂玉昕;;飞秒激光功能扩展及精确控制[A];第六届全国光学前沿问题研讨会论文摘要集[C];2003年
8 陆培祥;;飞秒激光驱动单阿秒脉冲的新机制[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年
9 曾绍群;;飞秒激光的声光扫描与神经活动观测[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年
10 徐楠;吴成印;吴志峰;梁青青;杨宏;龚旗煌;;分子的飞秒激光取向操纵[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 王迅;飞秒激光光学频率梳获国家科技进步二等奖[N];中国有色金属报;2010年
2 记者 王小龙;飞秒激光可使金属具备超疏水性能[N];科技日报;2015年
3 记者 刘晓军;我国超高功率飞秒激光装置成功运行[N];科技日报;2005年
4 《中国物理学报》 供稿;飞秒激光测量纳米尺度超快物理过程[N];大众科技报;2007年
5 本报记者 杨蕾;在光的世界里驰骋[N];中国质量报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈式有;飞秒激光成丝及其伴生效应的研究[D];中国科学院大学(中国科学院物理研究所);2018年
2 石喆;飞秒激光在空气中成丝的特性研究[D];吉林大学;2018年
3 赵佳宇;飞秒激光成丝现象中的太赫兹波空间束缚效应研究[D];南开大学;2016年
4 马盼;符合动量成像研究飞秒激光作用下分子的库仑爆炸[D];吉林大学;2018年
5 李贺;飞秒激光在空气、水溶液中的传输和成丝的光谱特性研究[D];吉林大学;2018年
6 吕金蔓;飞秒激光制备铌酸锂和钇铝石榴石晶体光波导器件及性质研究[D];山东大学;2018年
7 史岩;飞秒激光成丝在痕量检测和制备超疏水材料领域的研究[D];吉林大学;2018年
8 刘青;飞秒激光在透明介质中的三维光存储研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2004年
9 程光华;飞秒激光与透明介质相互作用的非线性及应用[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2004年
10 毛方林;飞秒激光显微操作系统的研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周晨;基于飞秒激光加工金属钛的功能性研究[D];合肥工业大学;2018年
2 于心月;飞秒激光过渡金属的过饱和掺杂黑硅的研究[D];吉林大学;2018年
3 田旭;飞秒激光场中环烃类分子库仑爆炸动力学[D];吉林大学;2018年
4 于竞尧;飞秒激光诱导微纳结构表面的防覆冰性能研究[D];长春理工大学;2018年
5 王硕;利用飞秒激光脉冲整形调控固体表面亚微米结构的研究[D];长春理工大学;2018年
6 刘复麟;空气中飞秒激光等离子体丝的激光干涉测量研究[D];长春理工大学;2018年
7 周宁;飞秒激光经空间调制在熔融石英中的成丝研究[D];长春理工大学;2018年
8 陈忠贇;金属微纳结构的激光直写研究[D];长春理工大学;2018年
9 唐佳贝;飞秒激光直写新型红外光波导器件研究[D];西安电子科技大学;2018年
10 郝静宇;高功率、高脉冲质量全光纤飞秒激光放大系统的研究[D];天津大学;2018年
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