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《激光与光电子学进展》 2008年03期
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脉冲激光沉积类金刚石膜技术

郭延龙  王淑云  王小兵  袁孝  卢常勇  万强  孙斌  程勇  
【摘要】:脉冲激光沉积(PLD)技术制备类金刚石(DLC)薄膜存在着金刚石相含量较低、石墨颗粒多、薄膜与衬底附着力差、膜内应力大等技术难题,为此,研究人员研究出了多种技术措施,如通过引入背景气体、超快激光、偏压、磁场以及加热等措施提高了薄膜金刚石相含量;采用金刚石或丙酮靶材、减小单脉冲能量等措施减少了石墨颗粒;采用间歇沉积、真空退火、超快激光等措施减少了膜内应力;合理设计过渡层改善了膜与衬底间的附着力等。这些技术有力地推动了脉冲激光沉积技术的发展。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前7条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 罗乐;储雅琼;秦娟娟;方晓东;方尚旭;陶汝华;;用脉冲激光沉积法在Al_2O_3上沉积类金刚石薄膜[J];红外与激光工程;2011年06期
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7 李小兵;秦赛;刘冬梅;朱明;;双钙钛矿La_2NiMnO_6/Si薄膜异质结的电学特性研究[J];化工时刊;2011年07期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前6条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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