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用多层膜测试结构证实软X射线显微术分辨率达20nm

傅恩生  
【摘要】:用软X射线显微镜证实在2.07nm波长达到20nm空间分辨率。软X射线显微镜根据菲涅耳波带片透镜和部分相干照明制成。通过溅射涂多层膜和透射电子显微术薄化技术形成的纳米结构测试花样提供清晰实验结果。

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