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《中国科学(E辑:技术科学)》 2009年06期
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基于铝诱导结晶的多晶硅薄膜材料结构优化

王泽温  熊兵  张李冲  罗毅  
【摘要】:基于铝诱导结晶化(AIC)方法,研究了不同溅射材料结构对多晶硅薄膜形成过程和材料特性的影响.首先利用射频溅射Si和直流溅射Al的方法,分别在普通玻璃衬底上沉积Si/Al/Glass,Al/Si/Glass,Si/Al/L/Si/Al/Glass三种不同结构的薄膜材料.采用相同的低温退火(500℃)工艺,对上述薄膜进行了多组时间下的退火Al诱导结晶处理.对退火处理后的样品去除表面多余Al之后进行了X射线衍射、电子显微镜表面观察和霍耳迁移率测试,分析其晶体质量特性和电学特性.结果表明,在足够长时间下,3种结构均可成功实现AIC多晶硅薄膜,其中采用多重周期性结构的薄膜结晶速度最快,并得到更优的结晶效果.

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【引证文献】
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【参考文献】
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【共引文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前3条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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