收藏本站
《机床与液压》 2006年05期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MEMS的微细加工技术

戴亚春  周建忠  王匀  马欣涛  
【摘要】:介绍了目前比较前沿的几种微型腔的机械加工方法:光刻掩模、高能束刻蚀(激光刻蚀)和LIGA技术等加工方法。对这些技术的发展趋势进行了展望。指出微器件的推广和应用,是和微器件的加工方法密不可分的,特别是随着激光加工技术在微机械加工领域的推广和应用,微器件的加工工艺水平和加工质量会有更大的提高。

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 吕良;邓中亮;刘玉德;辛洪兵;;基于MEMS技术的汽车传感器研究进展[J];电工技术学报;2007年04期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 黄桃;乙醛酸电合成的催化剂制备和原位红外反射光谱研究[D];厦门大学;2007年
2 曹志强;硬脆材料液流悬浮超光滑加工的理论与实验研究[D];吉林大学;2007年
3 郝慧娟;电子束光刻的三维加工和邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 杨志伟;微凸起和微坑结构的特种加工成形技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
2 徐玉明;超声—电解复合微细加工应用基础研究[D];扬州大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李艳秋;光刻机的演变及今后发展趋势[J];微细加工技术;2003年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
2 刘大震,闫卫平,郭吉洪,杜立群;PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 明平美,胡洋洋,朱健;微细电火花加工MEMS器件技术关键分析[J];微纳电子技术;2005年04期
4 姜政,丁桂甫,张东梅;一种快速响应双稳态热执行器的结构设计[J];微纳电子技术;2005年10期
5 谢建新,周成,张志豪;非晶合金精细零部件的超塑性成形技术[J];材料导报;2003年02期
6 单德彬,郭斌,王春举,周健,袁林;微塑性成形技术的研究进展[J];材料科学与工艺;2004年05期
7 邓习树,吴运新,李建平;光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究[J];电子工业专用设备;2005年10期
8 佟军民,胡松,余国彬;下一代光刻技术[J];电子工业专用设备;2005年11期
9 罗均 ,谢少荣 ,龚振邦;面向MEMS的微细加工技术[J];电加工与模具;2001年05期
10 朱荻;纳米技术与特种加工[J];电加工与模具;2002年02期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
2 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
3 郭占社;基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
5 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
6 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
7 李锦明;高信噪比电容式微机械陀螺的研究[D];中北大学;2005年
8 李震;柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用[D];大连理工大学;2006年
9 张飞;浸没式ArF光刻CD均匀性研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2006年
10 石玲;细观光测力学研究中的高频全息光栅及精细网格技术[D];清华大学;1994年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
2 者文明;微梁结构热偶微波功率传感器芯片的设计与制作[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2002年
3 李丽宏;基于双目显微立体视觉系统的研究[D];河北工业大学;2003年
4 殷伯华;准分子激光微加工控制系统研究[D];北京工业大学;2003年
5 乔大勇;基于MEMS技术的自适应光学微变形镜的设计与分析[D];西北工业大学;2003年
6 邓进军;基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究[D];西北工业大学;2003年
7 唐华锋;MEMS工艺集成化设计及其可视化[D];西北工业大学;2003年
8 常洪龙;基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究[D];西北工业大学;2002年
9 霍鹏飞;MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术[D];西北工业大学;2002年
10 方志华;MEMS工艺版图三维重构技术研究[D];西北工业大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 贾宝贤,王振龙 ,赵万生;微细切削加工与微机械制造[J];机械制造;2003年08期
2 尹占民 ,王好臣 ,袁光明;电解放电复合加工工艺研究及其在精密模具制造中的应用[J];模具制造;2002年09期
3 张成光;刘传绍;缪娟;符德学;赵波;张成红;;超声波协同脉冲电解复合研磨加工机理探讨[J];煤矿机械;2006年08期
4 王艳东;李赫;王敏慧;鲍善惠;;锁相环跟踪超声振动系统谐振频率的改进[J];声学技术;2007年02期
5 鲍善惠,王敏慧;超声波发生器的频率跟踪电路[J];洗净技术;2003年10期
6 李川奇,沈连官,田扬超,胡一贯;微细加工新技术-LIGA技术研究[J];仪器仪表学报;1995年S1期
7 郭永丰,李旦,赵家齐,姜兆华;用电化学方法进行纳米级微细加工的初探[J];仪器仪表学报;1995年S1期
8 孙雅洲,梁迎春,程凯;微型化制造设备与微型制造系统[J];中国机械工程;2002年07期
9 李庆文,蒋俊树;乙醛酸制备及应用[J];安徽化工;1998年04期
10 何国荣,陈松岩,谢生;Si-Si直接键合的研究及其应用[J];半导体光电;2003年03期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
2 陈卫;不同聚集态Pt纳米粒子的合成、表面组装及其电化学和特殊红外性能研究[D];厦门大学;2003年
3 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
4 宋会英;电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2006年
5 胡玉景;超声振动—磨削—脉冲放电复合加工技术及其智能控制的研究[D];山东大学;2006年
6 王明环;微细电解加工实验研究[D];南京航空航天大学;2007年
7 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
8 郑建新;陶瓷型面的数控展成蠕动进给超声磨削技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
9 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
10 王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王振华;新型图形发生器的研制[D];中国科学院电工研究所;2001年
2 寇剑菊;叉指式微加速度计的系统仿真分析[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
3 黄秀荪;电子与固体相互作用的Monte Carlo模拟[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2004年
4 陈安骏;超声电解复合加工在微器件制作中的基础研究[D];南京航空航天大学;2005年
5 吴冰洁;基于微器件的超声微细加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2006年
6 赵星;基于AGIE CHALLENGE ECUT 2F机床的微细电火花线切割加工技术实践研究[D];南京航空航天大学;2006年
7 李伟东;微压力传感器的设计与制作工艺研究[D];国防科学技术大学;2005年
8 董德生;阵列轴孔的微细超声电火花复合加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 周林;微细电火花加工技术研究[D];中国工程物理研究院;2006年
10 朱毅;微梳齿谐振器力学特性的仿真研究[D];清华大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈军伟;激光微加工技术纵览:基本原理、实际应用及未来展望[J];光机电信息;2001年11期
2 ;微型机械激光成型术[J];国外科技动态;2004年02期
3 沈连官,王翔,邓益民;激光光刻成型法在微型机械研究中的应用[J];光学精密工程;1995年02期
4 王霄;杨昆;刘会霞;王匀;李保春;沈宗宝;;激光驱动飞片加载金属箔板成形及数值模拟[J];塑性工程学报;2009年01期
5 刘会霞;杨昆;王霄;王匀;李保春;高传玉;周明;;激光驱动飞片加载金属箔板成形机理研究[J];中国机械工程;2009年07期
6 刘会霞;杨昆;王匀;王霄;周明;;激光驱动飞片加载金属箔板成形实验研究[J];中国激光;2009年05期
7 陈锵,王琪民,单保祥,杨浩涌;一种对微型元件行之有效的力学量检测方法[J];机械;2000年04期
8 姚罡;陆辛;郭祎;;微成形模具及其驱动设备的发展现状[J];中国电力教育;2007年S1期
9 杨昆;董培龙;李保春;;微尺度激光冲击成形技术[J];机械制造;2007年12期
10 季忠;刘韧;孙胜;;激光冲击成形研究进展[J];激光与光电子学进展;2010年06期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张翊;孙宏明;包达群;郭航;;微型体声波振荡器的噪声分析[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
2 周建忠;高彬;黄舒;樊玉杰;范金荣;朱伟;徐增闯;;一种新型复合微尺度脉冲激光冲压仿形工艺的实验研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 刘会霞;激光驱动飞片加载金属箔板间接冲击微成形研究[D];江苏大学;2011年
2 郑超;激光冲击微成形工艺数值模拟及其实验研究[D];山东大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 张明浩;超薄板材脉冲激光微冲击成形过程数值模拟[D];山东大学;2008年
2 何建军;面向生物芯片应用的非晶合金模具的精密复制[D];华中科技大学;2012年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026