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加速发展我国半导体设备是形成中国IC产业链的当务之急

翁寿松  
【摘要】：国务院18号文件颁布以后,我国IC产业呈现出大需求、大发展和大投资的局面,这无疑给发展缓慢我国半导体设备业带来了良机。本文分析了半导体设备业的现状,与国外的差距,并提出了缩短与国外差距的对策、办法及措施。

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