基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统--《测控技术》2004年04期

《测控技术》 2004年04期

基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统

【摘要】：给出了基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统的组成及其采用的一种全新的频率特性的测试、分析方法。针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法 ,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性。

【作者单位】：北京航空航天大学测控系北京航空航天大学测控系
【关键词】： 硅微谐振式传感器 谐振频率 品质因数 线性调频信号 线性调频Z变换
【基金】：国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 0 0 9) 航空科学基金资助项目 (0 2 15 10 18)
【分类号】：TP274.4
【DOI】：CNKI:SUN:IKJS.0.2004-04-002
【正文快照】：

硅微谐振式传感器具有体积小、重量轻、功耗低、动态响应快和可实现SOC(systemonachip)的优点 ,是传感技术发展的一个主要方向[1 ] 。它们一般工作于 2 0～ 60kHz ,有的工作频率可达 10 0kHz以上 ;真空中品质因数一般可达到 10 5的量级 ,空气中也可达到 10 3的量级 ;敏感元件

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