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《浙江大学学报(理学版)》 2002年04期
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梯度磁场中薄膜厚度梯度的形成机理

朱炎  狄国庆  陈亚杰  赵登涛  
【摘要】:借助于基片下方放置的磁铁 ,在溅射的放电空间中引入了纵向的梯度磁场 .辉光放电时 ,其外貌发生了显著的收缩 ,由此沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度 .用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制

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【参考文献】
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【共引文献】
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