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《红外与激光工程》 1998年06期
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用红外反射光谱研究离子束作用后碲镉汞的表面形貌

陆慧庆  胡晓宁  方家熊  
【摘要】:对经过低能离子束刻蚀前后的碲镉汞材料表面,测量其红外反射光谱,发现在刻蚀时间较短(<10min)的情况下可以用扩散散射模型很好地解释刻蚀前后光谱的变化,由此方法得到的表面均方根粗糙度与材料和刻蚀条件没有明显的关系,约为60~100nm。这一结果为研究碲镉汞的表面形貌提供了新的手段。
【作者单位】传感技术国家重点实验室
【分类号】:TN219

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【引证文献】
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1 何波;马忠权;史衍丽;徐静;赵磊;李凤;沈成;沈玲;;HgCdTe阳极硫化+ZnS钝化膜表面与界面的研究[J];光电子技术;2009年02期
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【同被引文献】
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【二级引证文献】
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