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《红外与激光工程》 2017年01期
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640x512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

周旭昌  李东升  木迎春  铁筱滢  王晓娟  陈卫业  
【摘要】:介绍了大面阵偏振长波量子阱红外焦平面探测器组件的研制进展。在640×512规模20μm中心距面阵上,偏振焦平面采用了2×2子单元设计,子单元中每个像元分别刻蚀0°、90°、45°以及135°方向的一维线性光栅,来获得入射光不同偏振角度的信息。突破了长波量子阱材料外延和器件制备等关键技术,制备出面阵探测器芯片,实现了偏振长波红外探测的单片集成,配上杜瓦和制冷机,研制出噪声等效温差优于30m K的长波偏振640×512量子阱探测器组件。
【作者单位】昆明物理研究所;
【分类号】:TN215

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