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《红外与激光工程》 2007年S1期
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一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪

张贵彦  袁宏韬  缪同群  
【摘要】:运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14~0.19 nm之间,说明了此抛光工艺的稳定性;用原子力显微镜测量值为0.143 nm均方根粗糙度的超光滑硅片作为参考样片,比较了其他三片相同工艺制备的硅表面的全积分散射测量结果,结果显示与标准片的测量结果非常接近,均在0.14~0.18 nm之间,验证了全积分散射法的合理性;进一步分析了锗、铝、碳化硅等表面的全积分散射测量结果,结果呈现出明显的差异,说明该方法具有较高的灵敏度和较大的动态范围。

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【引证文献】
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1 潘永强;吴振森;杭凌侠;穆亚勇;;多层介质薄膜膜层间界面粗糙度及光散射[J];红外与激光工程;2009年03期
2 应建新;张彬;崔鑫;徐学珍;;透明陶瓷透光性能的影响因素[J];强激光与粒子束;2011年03期
3 崔鑫;张彬;应建新;徐学珍;;透明激光陶瓷散射损耗分析[J];强激光与粒子束;2011年08期
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1 张晓琳;基于激光干涉的水表面声波探测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
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1 李利;光学自由曲面加工误差对光学性能的影响[D];吉林大学;2011年
2 闫丽荣;低损耗光学元件散射特性测试技术研究[D];西安工业大学;2012年
【参考文献】
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【共引文献】
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【同被引文献】
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1 何志平;激光多程放大系统杂散光分析[D];浙江大学;2003年
2 卢玉州;基于虚拟仪器的数据采集系统[D];山东科技大学;2004年
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9 李俊勤;人眼波前像差测量关键技术研究及应用[D];南京航空航天大学;2005年
10 任虎;多种表面双向反射分布函数的理论建模与实验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【二级引证文献】
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2 潘永强;杭凌侠;吴振森;王浩浩;;离子束后处理对TiO_2薄膜表面粗糙度的影响[J];中国激光;2010年04期
3 潘永强;杭凌侠;;斜角入射沉积TiO_2薄膜的光学特性和表面粗糙度[J];中国激光;2011年02期
4 韩潇;朱嘉琦;周峰;陈晓丽;;多层四面体非晶碳膜的热稳定性[J];红外与激光工程;2012年01期
5 巩蕾;吴振森;;粗糙基底上涂层的极化双向反射分布函数[J];红外与激光工程;2012年01期
6 齐瑞云;吴福全;郝殿中;王庆;吴闻迪;;沉积速率对HfO_2薄膜应力和光学特性的影响[J];曲阜师范大学学报(自然科学版);2010年04期
7 崔洪梅;滕祥红;钱纁;肖红涛;张旭;;热等静压处理对CVD ZnS/ZnSe复合材料性质的影响[J];人工晶体学报;2011年06期
8 刘一军;谢志军;王秀峰;黄剑锋;刘杰;汪庆刚;;大规格高石英透光陶瓷板的研究[J];陶瓷;2012年01期
9 谢志军;赵勇;刘一军;王秀峰;黄剑锋;刘杰;汪庆刚;;大规格高石英透光陶瓷板材的研究[J];中国陶瓷;2012年04期
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1 李永强;ZnO光学薄膜随机表面的形貌分析与光散射特性研究[D];南京理工大学;2010年
2 朱进;光学自由曲面面形描述方法和光线追迹模型的研究[D];南京理工大学;2012年
3 刘哲;电弧源制备氧化铝薄膜的工艺研究[D];西安工业大学;2012年
4 叶绘;AlON透明陶瓷粉体的制备与改性工艺研究[D];大连海事大学;2012年
5 李颜利;加工表面几何误差对光学性能的影响[D];吉林大学;2012年
【相似文献】
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1 张保洲;郝允祥;;光积分球非中性问题的讨论[J];北京师范大学学报(自然科学版);1985年03期
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5 张亚奇,郝彤,杨书敏,马龙铭,费鹃,章秀荣;测量CO_2激光功率用的积分球高温涂层的研制[J];中国激光;1980年11期
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10 黄丽俐;许红梅;顾小超;杨志文;;积分球式微光源的蒙特卡罗模拟[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年02期
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4 王振宝;杨鹏翎;冯国斌;邵碧波;张磊;朱金辉;;用于高能激光功率取样测量的积分球单元[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
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7 史兴宽;杨健;任敬心;;控制力精密抛光装置的设计与实验研究[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
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10 张鑫;林家明;张哲;沙定国;;基于不等半径高均匀亮度的积分球照明技术研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
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1 王亚彬;包装材料透光性的测试与研究[N];中国包装报;2004年
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