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《红外与毫米波学报》 2004年01期
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红外30μm亚波长抗反射光栅的制作

曹召良  卢振武  张平  王淑荣  赵晶丽  李凤有  
【摘要】:利用严格耦合波理论设计出亚波长抗反射光栅 ,并通过等离子体辅助刻蚀制作出了立方状抗反抗光栅 .测量结果发现该光栅具有良好的增透特性 ,并且测得光栅参数和理论设计参数基本一致 ,表明等离子体辅助刻蚀是制作深光栅的有效方法 .对实验结果进行了分析和讨论 ,结果表明 ,临界周期点随折射率的变化规律在亚波长抗反射光栅的制作中有重要的作用

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 卿浩博;吕顺;李红宏;聂娅;;远红外光区域的单层光栅结构宽带滤波器的设计[J];光散射学报;2009年03期
2 曹召良,卢振武,李凤有,孙强,任智斌,赵晶丽;亚波长介质光栅的制作误差分析[J];光子学报;2004年01期
3 赵华君;袁代蓉;吴正茂;;亚波长偏振光栅的研究进展[J];激光与光电子学进展;2008年03期
4 沈祥伟;刘正堂;卢红成;李阳平;闫峰;;锗衬底上反应离子刻蚀制备宽波段红外增透结构的工艺及性能研究[J];机械科学与技术;2009年10期
5 张淼;刘正堂;李阳平;郑倩;刘辉;;锗衬底上锥形二维亚波长结构的制备[J];西北工业大学学报;2010年04期
6 徐启远;刘正堂;李阳平;武倩;张淼;;ZnS衬底表面亚波长增透结构的设计及制备[J];物理学报;2011年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 朱冀梁;硅表面微光栅结构的纳秒激光干涉刻蚀研究[D];苏州大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 曹召良,卢振武,李凤有,任智斌,刘玉玲;亚波长周期结构抗反射介质光栅的衍射特性[J];光电子·激光;2003年07期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 孙梅;徐德刚;邢素霞;姚建铨;;亚波长环形电磁结构的光学特性研究[J];光学学报;2010年01期
2 徐启远;刘正堂;李阳平;张淼;;锗衬底红外抗反射亚波长结构的研究[J];光学学报;2010年06期
3 孙梅;徐德刚;郭培源;姚建铨;;正交偶极分形槽红外波段光学特性研究[J];激光与光电子学进展;2010年09期
4 叶燕;浦东林;周云;陈林森;;用于光导板的亚微米光栅透射衍射特性分析[J];激光杂志;2007年05期
5 张亮;李承芳;张飞;;一维金属亚波长周期光栅的衍射特性[J];中国激光;2006年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 胡昌奎;基于纳米金属光栅结构的表面等离子体共振传感研究[D];华中科技大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 曹召良;亚波长抗反射光栅的设计分析与制作[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 杨健;二元光学元件矢量衍射设计与并行直写制作[D];国防科学技术大学;2004年
3 张军;亚波长结构二元光学器件的设计[D];国防科学技术大学;2007年
【同被引文献】
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1 张娜,褚金奎,赵开春,孟凡涛;基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计[J];传感技术学报;2006年05期
2 魏国军,徐兵,陈林森;线光栅扫描实现衍射图形的矢量化直写[J];光电子技术与信息;2004年06期
3 陈林森,解剑锋,沈雁,汪振华,邵洁,陆志伟;采用空间光调制器的光变图像光刻系统[J];光电子·激光;2004年05期
4 王艳花;陈跃刚;张岩;刘树田;;金属周期性结构光栅亚波长凹槽对透射率的影响[J];光电子.激光;2007年08期
5 巴音贺希格;朱洪春;;软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析[J];光学精密工程;2007年01期
6 龚小竞;褚家如;王翔;黄文浩;杨建军;张铁群;朱晓农;;飞秒激光多次聚焦在并行加工中的应用[J];光学精密工程;2008年01期
7 杨健,颜树华,吕海宝,周春雷;基于耦合波理论设计偏振分束光栅[J];光学技术;2005年05期
8 羊国光;用于衍射光学元件优化设计的遗传算法及其与模拟退火算法的比较[J];光学学报;1993年07期
9 陈波,王菡子,韦辉,郭永康,郭履容;用于惯性约束聚变束匀滑的完全连续相位板设计方法[J];光学学报;2001年04期
10 鱼卫星,卢振武,王鹏,翁志成;二维表面浮雕结构的矢量衍射分析[J];光学学报;2001年08期
【二级引证文献】
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1 王方;粟敬钦;王芳;刘兰琴;王文义;莫磊;;用于ICF驱动器谐波分离的亚波长光栅优化设计[J];光学学报;2010年02期
2 唐雄贵,高福华,高峰,张怡霄,杜惊雷,郭永康;利用严格模式理论分析光栅透镜的衍射特性[J];光子学报;2005年06期
3 桑田,王占山,吴永刚,陈玲燕;薄膜波导光栅滤光片反射特性研究[J];光子学报;2005年10期
4 桑田;王占山;吴永刚;林小燕;田国勋;陈玲燕;;亚波长介质光栅导模共振研究[J];光子学报;2006年05期
5 贾宏志;李莉;徐波;;耦合角度对平面波导叠加型光栅解波分复用性能的影响[J];光子学报;2006年07期
6 颜树华;彭金璋;徐琰;张军;;高衍射效率亚波长结构Dammann光栅的设计[J];光子学报;2007年01期
7 王建永;李庆武;赵长青;;旋转体时域有限差分法的另一推导方法和单向波方程吸收边界条件[J];光子学报;2007年01期
8 刘全;万华;吴建宏;陈新荣;李朝明;;低陡度光刻胶光栅槽形研究[J];光子学报;2008年07期
9 赵华君;;亚波长介质光栅的闪耀特性分析[J];光子学报;2008年12期
10 孟凡涛;褚金奎;韩志涛;郭庆;;面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响[J];光子学报;2009年04期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 胡昌奎;基于纳米金属光栅结构的表面等离子体共振传感研究[D];华中科技大学;2010年
2 熊学辉;平面光栅阵列纳米尺度光子控制及其应用技术研究[D];华中科技大学;2011年
3 刘丰;高平均功率小型化超快THz辐射源[D];天津大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 杨健;二元光学元件矢量衍射设计与并行直写制作[D];国防科学技术大学;2004年
2 张军;亚波长结构二元光学器件的设计[D];国防科学技术大学;2007年
3 王方;ICF驱动器亚波长光栅谐波分离技术研究[D];中国工程物理研究院;2009年
4 马志博;光学表面微结构抗反射特性与优化设计研究[D];西北大学;2011年
5 王苗欣;一种仿生大气偏振信息传感阵列研究[D];合肥工业大学;2011年
6 刘瑞宏;基于纳米压印技术的亚波长抗反射结构的工艺研究[D];上海交通大学;2012年
7 班卫华;光栅空间光学桥接器研究[D];广西大学;2011年
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2 ;微纳光子学亚波长器件研究的重要进展——逆向干涉相消法提高波分复用器透射效率50%[J];红外;2011年08期
3 杨雪峰;史铁林;左海波;江轩;廖广兰;;基于严格耦合波理论的蝴蝶鳞翅分级结构光学特性研究[J];光学学报;2011年07期
4 兰民;任常愚;;向列相液晶中高阶衍射图像的特性[J];液晶与显示;2011年04期
5 ;首块激光器和光栅集成的硅芯片问世[J];人工晶体学报;2011年04期
6 苏洋;朱勇;益晓新;李玉权;;圆双折射光栅的传输和偏振特性研究及磁场传感应用[J];光学学报;2011年06期
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8 王丽芝;祁烁;成春荣;;“鬼”成像及其研究现状[J];牡丹江师范学院学报(自然科学版);2011年03期
9 林灵;杨小君;白晶;龙学文;吕百达;Razvan Stoian;惠荣庆;程光华;;飞秒激光光刻波导偏振器[J];光子学报;2011年06期
10 李琳菲;秦卫平;;数值研究负折射率超透镜近场亚波长成像[J];信息化研究;2011年03期
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1 卓丽霞;唐武;戴瑶;翁小龙;邓龙江;;膜厚对亚波长铝光栅红外反射率的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
2 孙梅;;亚波长空气孔形状变化对传输特性的影响[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3 刘昊;卫栋;高宏;李福利;;光栅反射时偏振分离现象的实验研究[A];第十五届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2012年
4 张岩;王艳花;孟阔;;太赫兹波段亚波长狭缝的共振带隙[A];第七届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];2007年
5 张成义;陶纯堪;;基于Talbot效应的莫尔技术在亚波长成像中的应用[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
6 陈献;郝寅雷;杨建义;王明华;江晓清;;新型等离子波槽形波导结构[A];全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议论文集[C];2007年
7 陈艳;姜田;冯一军;;电负媒质和磁负媒质填充的矩形谐振腔特性分析[A];2005'全国微波毫米波会议论文集(第三册)[C];2006年
8 明海;王沛;鲁拥华;;金属复合微纳结构的表面等离子体的全光调控和传感的研究[A];2008介观光学及其应用研讨会论文集[C];2008年
9 许吉;;双层亚波长金属栅结构中的透射抑制现象及单向透射行为[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
10 刘炜;陈志宁;刘发林;;SIW单槽馈电的基板集成亚波长Fabry-Perot金属腔天线[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(上册)[C];2011年
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1 新疆 陈汝泳;乐华彩电白色光栅故障检修一例[N];电子报;2010年
2 江西 艾杉水;北京牌8348-2型彩电奇特光栅检修[N];电子报;2004年
3 赵琼;潘健和他的“光栅”理论[N];科技日报;2000年
4 杞人 文哲;诺信光栅:中国第一,世界第二[N];科技日报;2009年
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7 记者 戴元元;立体光栅小型张纪念中伊建交50周年[N];中国集邮报;2008年
8 四川 肖庆涛;排除显示器光栅暗淡故障[N];电脑报;2003年
9 黑龙江 任志坚;长虹A2116彩电特殊故障检修实例[N];电子报;2007年
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1 刘玉玲;亚波长衍射微透镜的严格矢量分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
2 张成义;周期结构成像理论及其应用研究[D];南京理工大学;2007年
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4 聂娅 ;亚波长光学元件的特性及应用研究[D];四川大学;2004年
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9 牛小兵;光栅投射三维轮廓测量技术的研究[D];天津大学;2003年
10 陈华;几种材料的太赫兹(THz)时域光谱研究[D];吉林大学;2008年
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1 曹召良;亚波长抗反射光栅的设计分析与制作[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 刘全;用于ICF驱动器的取样光栅的研制[D];苏州大学;2004年
3 李培江;DSP细分技术在光栅检波器中的应用[D];天津科技大学;2004年
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5 李继锋;基于光折变体光栅的FBG波长解调技术研究[D];西北工业大学;2005年
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8 葛桂菊;热光关联空间滤波与亚波长干涉[D];烟台大学;2010年
9 聂娅;亚波长介质光栅的导模共振效应特性研究[D];四川大学;2001年
10 向红丽;分层布拉格光栅的制作及其波分复用特性研究[D];西北工业大学;2005年
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