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《红外技术》 2011年06期
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光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价

钱大憨  贾嘉  陈昱  王韡  汤亦聃  朱龙源  李向阳  
【摘要】:制备了一种带有曲面延伸电极结构的碲镉汞光导型红外探测器,对曲面延伸电极的抗低温冲击能力进行了研究,在9次的液氮直接冲击下曲面延伸电极完好,器件电阻无大变化。通过扫描电子显微镜(SEM)对曲面延伸电极的台阶侧面微观形貌进行观察,发现在延伸台阶的侧面有孔洞出现。通过改进镀膜工艺,延伸台阶侧面的金属薄膜致密无孔洞。这表明宏观的电阻表征对微观缺陷不敏感,对电极可靠性的表征要结合微观形貌表征进行;同时适当的薄膜制备条件可以使大台阶侧面获得致密的金属薄膜,从而获得良好的台阶覆盖性。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 程进,朱惜辰;从噪声测量确定探测器双极迁移率及电学参数[J];红外技术;1999年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 钱大憨;贾嘉;陈昱;王韡;汤亦聃;朱龙源;李向阳;;光导型碲镉汞红外器件的曲面延伸电极工艺评价[J];红外技术;2011年06期
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