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《红外技术》 2001年06期
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非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器

唐军  程建功  褚君浩  
【摘要】:采用半导体微机械 (Micro Electro MechanicalSystem ,MEMS)技术制备了具有热隔离微桥的 8× 8元非致冷Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜红外探测器列阵原型器件。热释电性能优良的Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜是使用浓度为 0 .0 5M的前躯体溶液、采用Sol Gel制备的。在 5~ 30℃的温度范围内 ,Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜的热释电系数大于 2 0nC cm2 K ,在 16 .8℃处达到最大值 4 1.3nC cm2 K。在 19℃的环境温度下 ,使用 5 0 0K黑体作为红外辐射源 ,测得 10Hz调制频率下 ,探测单元的探测率D 为 5 .9× 10 7cmHz1 2 W-1。对器件结构的进一步改进和测试条件的进一步改善可望获得更高的探测率

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 吴传贵,刘兴钊,张万里,李言荣;热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展[J];重庆师范大学学报(自然科学版);2005年03期
2 吴传贵,刘兴钊,张万里,李言荣;热释电薄膜在红外探测器中的应用[J];红外;2004年03期
3 杨伟;彭信翰;张骏;;激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究[J];红外技术;2009年07期
4 范茂彦;姜胜林;张丽芳;;铁电厚膜焦平面探测器微桥湿法刻蚀工艺研究[J];红外技术;2011年05期
5 刘娟妮,方瑜,肖定全,朱建国;溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的光电子能谱研究[J];四川大学学报(自然科学版);2005年S1期
6 谢波玮,李弢,古宏伟;非致冷红外焦平面阵列用铁电薄膜[J];稀有金属;2005年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 蔡炘富;马建福;吴传贵;张万里;;用于BST薄膜热释电单元探测器的CMOS放大电路设计[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
2 袁小武;钛酸铅镧钙系铁电薄膜的制备及其性能研究[D];四川大学;2005年
3 付兴华;掺杂钛酸锶钡薄膜的制备与电性能的研究[D];武汉理工大学;2005年
4 胡文成;热释电机理及BST薄膜性能研究[D];电子科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 廖勇明;基于多晶硅的红外阵列研制及集成设计[D];四川大学;2005年
2 刘桂君;超声喷雾热解法制备钛酸锶钡薄膜工艺及性能研究[D];电子科技大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 朱惜辰;红外探测器的进展[J];红外技术;1999年06期
2 金伟其,侯光明,刘广荣;非致冷焦平面热成象技术及其应用[J];红外技术;1998年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 李华高,杨子文,刘爽;非制冷红外探测器用VO_x薄膜的制备[J];半导体光电;2001年01期
3 陈江峰;李雪;;GaN p-i-n紫外探测器的研制[J];半导体光电;2005年06期
4 甘文祥;丁瑞军;;一种红外焦平面数控偏置电压电路的实现[J];半导体光电;2006年01期
5 贾寒昕;徐运华;亢勇;李向阳;;可见光对GaN基紫外焦平面读出电路的影响[J];半导体光电;2006年04期
6 殷建军;丁瑞军;;基于CPLD的红外焦平面阵列驱动电路的设计[J];半导体光电;2008年01期
7 黄松垒;张伟;黄张成;方家熊;;基于输入失调补偿的暗电流抑制读出电路研究[J];半导体光电;2011年03期
8 盛怀茂,王嘉宽,高启安,夏冠群,赵建龙;GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器噪声特性分析[J];半导体技术;1999年05期
9 田浦延,布良基,陈蒲生,冯文修;光电耦合器的结构设计及封装特点[J];半导体技术;2002年11期
10 李志怀,冯明,刘月英,沈德新,卢建国,朱自强;硅基红外热堆中热电偶尺寸和对数对探测性能的影响[J];半导体学报;2001年10期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 黄松垒;张伟;黄张成;方家熊;;基于输入失调补偿的暗电流抑制读出电路研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 何腊梅;郑忠;;红外测温技术及在钢铁生产中的应用[A];2004全国能源与热工学术年会论文集(2)[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 胡滨;非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计与实现研究[D];电子科技大学;2011年
2 张洋洋;复合热释电材料及阵列基础研究[D];华中科技大学;2012年
3 符小荣;非制冷红外探测器用PbTiO_3系铁电薄膜的Sol-Gel法制备及性能研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
4 刘成康;红外焦平面阵列CMOS读出电路研究[D];重庆大学;2001年
5 汪涛;UMBIRFPA的计算机仿真及非均匀性校正研究[D];重庆大学;2001年
6 贾功贤;基于VI的IRFPA ROIC参数测试及热释电FPA凝视成像技术研究[D];重庆大学;2001年
7 杨文;非制冷焦平面用热释电材料研究[D];电子科技大学;2002年
8 张晓飞;基于DSP的红外焦平面阵列非均匀性校正技术研究[D];重庆大学;2002年
9 顾文韵;微测辐射热计红外焦平面探测器模型、仿真与设计应用研究[D];南京理工大学;2002年
10 曹雷;纳米碳管/稀土酞菁复合材料的制备与光电性能研究[D];浙江大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郭文其;红外成像探测器模拟器硬件平台设计[D];西安电子科技大学;2011年
2 张佩;量子阱红外探测器光谱响应测试系统研究[D];西安工业大学;2011年
3 余永泰;微光成像系统测试平台[D];南京理工大学;2011年
4 傅俊威;基于非晶硅薄膜的红外吸收层膜系设计、仿真与实验研究[D];电子科技大学;2011年
5 张杰;红外热成像测温技术及其应用研究[D];电子科技大学;2011年
6 张帆;基于VC++的红外热成像测试系统设计[D];电子科技大学;2011年
7 王冲;PMNT系热释电红外传感材料的制备与性能研究[D];宁波大学;2010年
8 孙立彬;面阵红外传感器的图像数据采集与显示技术研究[D];天津大学;2010年
9 蒋洞微;InAs/Ga(In)Sb超晶格长/远波段红外探测器研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
10 马俊婷;科学级CCD数码相机的研究与开发[D];华北工学院;2001年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孔令英;影响磁控溅射膜质量的工艺因素[J];半导体技术;1997年05期
2 邹德恕,徐晨,罗辑,陈建新,高国,魏泽民,沈光地;射频溅射SiO_2在制造Si/SiGeHBT中的应用[J];半导体技术;1999年04期
3 刘少波,李艳秋,刘梅冬;热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的研究[J];微纳电子技术;2003年11期
4 龚健,符小荣,宋世庚,谭辉,陶明德;Y掺杂钛酸钡薄膜的Sol-Gel法制备及PTC效应[J];半导体学报;1999年03期
5 武光明,朱江;钛酸钡薄膜的喷雾热分解方法制备及PTC效应研究[J];北京石油化工学院学报;2003年01期
6 杨昊宇;赵小林;戴旭涵;邵国成;丁桂甫;;平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究[J];传感技术学报;2006年05期
7 赵明远,唐艳;非致冷型焦平面阵列设计特性分析[J];传感器世界;2003年02期
8 章天金,周东祥,付明,龚树萍,姜胜林;金属氧化物气敏传感器的研究现状及其发展趋势[J];材料导报;1998年06期
9 余火根,余家国,郭瑞,赵修建;溶胶-凝胶薄膜的制备和应用[J];材料导报;2003年06期
10 贺志荣;;TiNi 形状记忆合金的工程应用研究现状和展望[J];材料导报;2005年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张智;红外焦平面阵列新结构高性能CMOS读出电路研究[D];重庆大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 胡滨;320×240非制冷红外焦平面读出电路研究与设计[D];电子科技大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 李达;张军;邵乐喜;卞洪飞;李东珂;杨元政;;超声喷雾热解法制备TiO_2光催化自清洁陶瓷及其性能研究[J];材料研究与应用;2010年04期
2 朱金荣;王茂祥;穆志纯;;二次合成法制备(Pb_(1-x)Sr_x)TiO_3铁电陶瓷的性能[J];固体电子学研究与进展;2007年04期
3 刘茜,曾立波,雷俊锋,常静,郭宁宁;热释电红外检测器研究探讨[J];红外;2005年11期
4 李杨;张拓;郑海川;叶成根;李建康;;红外热释电薄膜探测器敏感元的研究[J];红外;2009年02期
5 孙光英;王敏;苏俊波;白丕绩;程有度;郭建华;胡志斌;纪忠顺;;非制冷热释电焦平面探测器成像机理及演示验证[J];红外技术;2010年07期
6 王冲;张约品;王金浩;;PMNT粉体的溶胶-凝胶法制备研究[J];宁波大学学报(理工版);2010年03期
7 谢波玮;李弢;古宏伟;;射频磁控溅射法制备(100)择优取向Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜[J];稀有金属;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 李达;张军;邵乐喜;卞洪飞;李东珂;杨元政;;超声喷雾热解法制备TiO_2光催化自清洁陶瓷及其性能研究[A];低碳技术与材料产业发展研讨会论文集[C];2010年
2 马建福;蔡炘富;吴传贵;张万里;;热释电红外探测阵列的工作原理、性能指标及应用[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 卢琪;电气石/Al_2O_3复合材料的制备及其红外辐射性能研究[D];中国地质大学(北京);2011年
2 贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
3 张清涛;PMNT铁电薄/厚膜及其MEMS致冷器制备工艺的研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2006年
4 张卫华;铁电薄膜的微细图形制备及其性能研究[D];西安理工大学;2007年
5 胡文成;热释电机理及BST薄膜性能研究[D];电子科技大学;2008年
6 范茂彦;BST厚膜非制冷红外焦平面阵列结构及特性研究[D];华中科技大学;2009年
7 吴传贵;BST热释电薄膜材料及在红外探测器中的应用基础研究[D];电子科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李甜;铁电薄膜电滞回线的理论分析[D];太原理工大学;2011年
2 郭璐;无碱玻璃对(Ba,Sr)TiO_3储能陶瓷的制备与性能影响研究[D];武汉理工大学;2011年
3 王冲;PMNT系热释电红外传感材料的制备与性能研究[D];宁波大学;2010年
4 马海敏;光学器件表面防污除尘结构的设计与制备[D];浙江大学;2012年
5 李龙海;同质InGaAs光伏型红外探测器的计算机模拟[D];吉林大学;2006年
6 舒辉;无线多传感器网络红外热释电传感器的微小型化设计与研究[D];南京理工大学;2006年
7 蒲朝辉;PZT铁电薄膜的制备与性能研究[D];四川大学;2006年
8 韩连印;BST热释电薄膜非制冷红外单元探测器的结构设计与性能研究[D];电子科技大学;2007年
9 吕小平;热释电探测器综合理论模型分析[D];长春理工大学;2007年
10 姚金城;BST热释电薄膜漏电流特性及软击穿特性研究[D];电子科技大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 吴诚,苏君红,潘顺臣,冯生荣,金伟其,高稚允;非制冷红外焦平面技术述评(上)[J];红外技术;1999年01期
2 邵式平;非制冷长波红外焦平面列阵现状[J];红外与激光工程;1997年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高;红外探测器列阵及其制作方法[J];红外;2005年10期
2 唐军,程建功,褚君浩,郁启华;BST铁电薄膜非制冷红外探测器热成像应用[J];红外技术;2002年05期
3 汤锦亚;文摘选登[J];红外技术;1989年06期
4 陈平,黄美浅,李斌,李观启;氧退火对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜电荷存储特性的影响[J];华南理工大学学报(自然科学版);2004年08期
5 冯文清;;液相外延碲镉汞红外探测器发展概况[J];红外技术;1983年05期
6 钱忠钰;工作于4K的红外集成器件读出电路性能测试[J];红外技术;1993年05期
7 高;;混成红外探测器列阵与改善动态范围的CMOS读出电路[J];红外;2009年08期
8 J.J.LOWE ,朱春才 ,汤锦亚;关于红外探测器列阵几何形状的分析[J];红外技术;1985年03期
9 高;;用CMOS工艺制作的超低成本非致冷红外探测器列阵[J];红外;2006年01期
10 王新德,胡文军,沈寿珍;串音对InSb光伏型红外探测器列阵性能的影响[J];红外与毫米波学报;1982年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王玉强;Ti-Al-O和BaxSr1-xTiO3高介电常数薄膜的制备及性能[D];河北大学;2010年
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