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《红外技术》 1985年04期
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前侧或后侧受光照的HgCdTe探测器:红外CCD焦平面列阵的一种新结构

柳圭如  
【摘要】:正 一种前后两面对称的新器件,可在一面进行探测,而另一面形成电极。这种新器件的制作方法与经典的HgCdTe制作工艺相接近。用这种新型的对称两面结构制作的二极管,其性能和生产成品率完全可与常用的HgCdTe列阵相比。未来红外系统(热成象、制导或监测)的信号探测,极有可能以焦平面探测器列阵的实

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