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《黑龙江大学(自然科学学报)》 1996年03期
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硅在KOH溶液中各向异性腐蚀机理的研究

温殿忠  庄玉光  邱成军  
【摘要】:本文应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液中各向异性腐蚀的机理。结果表明,硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀速率不但与硅材料晶面原子密度差异有关,而且还与活化离子OH-数有关,活化粒子数与成正比。应用本文给出的腐蚀机理能满意解释硅在KOH溶液中各向异性腐蚀的实验结果。
【作者单位】黑龙江大学物理系
【分类号】:O613.72

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 邱成军,孟丽娜,刘红梅,曹茂盛;溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J];传感器技术;2004年09期
2 邱成军,曹茂盛,孟丽娜,刘红梅,张辉军;溶胶-凝胶法制作PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J];云南大学学报(自然科学版);2005年S1期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 邱成军;基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制[D];哈尔滨工程大学;2005年
2 张继成;(类)金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用[D];中国工程物理研究院;2008年
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1 赵晓锋;采用MEMS技术制作硅磁敏三极管研究[D];黑龙江大学;2003年
2 孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
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【参考文献】
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 温殿忠,庄玉光;硅在KOH溶液和EPW中各向异性腐蚀的异同[J];传感技术学报;1995年02期
2 温殿忠;JFET压磁电效应的理论分析[J];电子科学学刊;1989年03期
【同被引文献】
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3 廖晓明;新型金刚石薄膜辐射剂量计的基础研究及设计[D];四川大学;2006年
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2 唐华锋;MEMS工艺集成化设计及其可视化[D];西北工业大学;2003年
3 殷吉昊;纳米晶金刚石薄膜场致发射特性研究[D];电子科技大学;2003年
4 孙心瑗;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];湖南大学;2004年
5 谢医华;多晶硅压力传感器的开发技术研究[D];暨南大学;2004年
6 赵杰;纳米SnO_2/酞菁铜薄膜材料的构筑与气敏性能研究[D];黑龙江大学;2004年
7 张进;金刚石薄膜制备工艺与电学、辐射响应性关系的研究[D];四川大学;2005年
8 王岩;磁控溅射法制备类金刚石薄膜的结构与性质研究[D];南京理工大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 邱成军;刘红梅;张辉军;赵全亮;孟丽娜;曹茂盛;;溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究[J];材料工程;2007年08期
2 曹茂盛;路冉;赵全亮;刘红梅;邱成军;袁杰;;高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究[J];黑龙江大学工程学报;2011年03期
3 黄玲;;Influence of Annealing Time on the Microstructure and Properties of Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3 Thin Films[J];Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science Edition);2012年01期
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1 张洪亮;几种光电材料的制备及性能研究[D];兰州大学;2011年
2 佟建华;压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究[D];大连理工大学;2006年
3 杜小振;环境振动驱动微型压电发电装置的关键技术研究[D];大连理工大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 李雪梅;屈曲型微驱动器的设计与分析[D];西安电子科技大学;2011年
2 黄玲;PZT薄膜热退火工艺的研究及微传感器的制备[D];武汉理工大学;2011年
3 张巍;微光学自适应系统中基于PZT薄膜的微反射镜单元工艺研究[D];浙江大学;2006年
4 赵全亮;PZT驱动的微泵研制及特性分析[D];黑龙江大学;2006年
5 张海军;收集振动能的压电微电池设计和制作工艺研究[D];大连理工大学;2006年
6 赵建林;膜式液压放大阀和同心阀压电泵研究[D];吉林大学;2007年
7 孟汉柏;PT/PZT/PT薄膜微力传感器的研究[D];大连理工大学;2008年
8 陈会林;PSZT压电薄膜的制备,表征与应用[D];大连理工大学;2009年
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8 晋卫军;;室温磷光方法学与新的出路[A];第八届全国发光分析暨动力学分析学术研讨会论文集[C];2005年
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10 严宗诚;王红林;陈砺;;液下等离子体电解水溶液产氢研究[A];第一届全国化学工程与生物化工年会论文摘要集(上)[C];2004年
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