收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

SiO_2化学机械抛光浆料的制备与性能研究

王相田  刘伟  金宇尧  程光伟  
【摘要】:研究了SiO2化学机械抛光(CMP)浆料制备过程中水溶液pH值、分散时间、搅拌转速、母液浓度、分散工艺等因素对制备及浆料性能的影响,讨论了母液法、直接法分散机理。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 孙杰;;潍坊亚星整合内外贸易成效显著[J];山东化工;2011年04期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 周舵;龙浩骑;贯鸿志;姚军;;Am(Ⅲ)的胶体行为[A];第二届废物地下处置学术研讨会论文集[C];2008年
2 印保忠;郭常霖;陆昌伟;;金红玻璃显色过程的研究[A];全国第三届光散射学术会议论文摘要[C];1985年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 侯峰岩;脉冲电沉积Ni-ZrO_2纳米复合镀层的制备、表征及机理研究[D];天津大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 李树元;纳米氧化亚铜的制备及其光催化性能研究[D];武汉理工大学;2006年
2 林克英;超细金刚石微粉的提纯及分级工艺研究[D];中国地质大学;2006年
3 陈志航;双注—水热法制备高分散纳米氢氧化镁的工艺研究[D];广西大学;2006年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 记者 顾钢;德利用阳光开发出水制氢简易方法[N];科技日报;2009年
2 钱伯章;用水制氢有简便廉价方法[N];中国化工报;2009年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978