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《航空制造技术》 2002年05期
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大面积微细结构的电火花加工

彭良强  伊福廷  张菊芳  韩勇  张院春  邹丽芸  
【摘要】:采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 ,实现了大面积微细结构的精细制造

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
2 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状零件的微细电火花加工[J];航空制造技术;2006年01期
3 杨建明;卢龙;李映平;;电火花加工工具电极制备技术研究进展[J];机床与液压;2007年11期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;;细长型电火花工具电极的制作研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
2 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状的微细电火花加工工艺研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
3 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状的微细电火花加工工艺研究[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
4 张志伟;汪炜;张伟;刘正埙;;微细相贯群孔的电火花加工试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 李刚;基于直线电机的微细电火花加工系统及其关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
3 彭子龙;微细电火花沉积与去除可逆加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年
5 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 李学磊;游离粒子磨擦辅助电铸技术应用基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
7 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 李勇,严晓敏,郭,王显军,邹丽芸;微细电火花加工工艺研究[J];电加工;1998年04期
2 高长水,宋小中,刘正埙;线电极电火花加工试验研究[J];航空工艺技术;1998年01期
3 曹祖时;现代电火花技术在航空工业中的应用[J];航空工艺技术;1998年06期
4 颜国正,赵国光,余承业;微小型微步距进给驱动装置及其应用研究[J];航空学报;1997年02期
5 伊福廷,吴坚武,冼鼎昌;微细加工新技术—LIGA技术[J];微细加工技术;1993年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈兵芽;刘莹;胡敏;李小兵;李一冰;王强;;微执行器的研究与展望[J];微纳电子技术;2005年12期
2 何友义;LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用[J];传感器技术;2001年12期
3 袁松梅,赵万生,刘维东;微小型电火花加工装置的最新进展[J];电加工;1998年06期
4 严荣国,薛重德,赵国光;椭圆微驱动电火花加工装置中电极的驱动与控制[J];电加工与模具;2000年06期
5 李文卓,赵万生,王振龙,王刚;我国微小型电火花加工装置最新研究与进展[J];电加工与模具;2001年02期
6 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
7 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
8 张强;宋博岩;施平;;电火花加工主轴伺服系统的发展[J];电加工与模具;2006年04期
9 张国春;李文卓;;微驱动电极进给机构的设计[J];电加工与模具;2006年06期
10 裴景玉;邓容;胡德金;;微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法[J];电加工与模具;2007年06期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 李勇;李芳;郑云飞;周骋;;微细电火花加工技术的进展状况[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
2 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
3 邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
4 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状的微细电火花加工工艺研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
5 裴景玉;邓容;胡德金;;微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
6 李勇;李芳;郑云飞;周骋;;微细电火花加工技术的进展状况[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
7 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
8 裴景玉;邓容;胡德金;;微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 金庆辉;微通道电泳芯片系统的原理、方法和应用研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
2 郭占社;基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
3 周小棉;芯片电泳系统研制与应用研究[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
4 杨杰伟;基于MEMS工艺的轴向磁化永磁微电机结构优化及性能分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
5 文伟力;聚合物微流控芯片的制作、检测及仿真研究[D];吉林大学;2007年
6 刘伟;化学发光微流动注射分析芯片的研究[D];西南大学;2007年
7 刘芸;微流控芯片酶反应器的研究[D];复旦大学;2007年
8 李成锋;介观尺度铣削力与表面形貌建模及工艺优化研究[D];上海交通大学;2008年
9 吕春华;基于SU-8负光胶的微流控芯片加工技术的研究[D];浙江大学;2007年
10 金柏冬;气中微细电火花沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邹海波;聚合物PMMA电喷雾芯片制作工艺研究[D];大连理工大学;2010年
2 喻杰;微细电火花脉冲电源及伺服控制策略的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 范道伟;微细电火花加工放电状态检测研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 房长兴;倒置式微细电火花超声复合加工装置研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 周明;电火花微孔加工工艺规律的研究[D];大连理工大学;2002年
6 陈福南;微流控化学发光生物传感器芯片的研究[D];西南师范大学;2002年
7 黄军容;LIGA技术高深宽比研究[D];北京工业大学;2003年
8 冯焕琴;基于线切割机的线电极放电磨削工艺的研究[D];吉林大学;2004年
9 沙志宏;数控微流控芯片热压系统研制[D];浙江大学;2004年
10 任永利;微压印聚合物微流控芯片的传热模型及实验研究[D];浙江大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王伊卿,赵文轸,唐一平,卢秉恒;Ni-Co合金电铸工艺及性能研究[J];兵器材料科学与工程;2000年03期
2 胡士廉,田文怀,周登陵,孙起;电铸药型罩的电子背散射衍射分析[J];兵器材料科学与工程;2000年04期
3 彭良强,徐韬光,韩勇,伊福廷,张菊芳;质子LIGA工艺的探讨[J];微纳电子技术;2002年05期
4 伊福廷,张菊芳,彭良强,韩勇;利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 汤儆,毛秉伟,田中群;电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
6 陈旭鹏,李勇,周兆英;微小型化学能推进器的研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
7 张永华,丁桂甫,李永海,蔡炳初;MEMS中的牺牲层技术[J];微纳电子技术;2005年02期
8 明平美,胡洋洋,朱健;微细电火花加工MEMS器件技术关键分析[J];微纳电子技术;2005年04期
9 伊福廷,缪鹏,彭良强,张菊芳,韩勇;利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文)[J];半导体学报;2004年01期
10 潘洋宇,李迎,王拴虎;微型机械技术和应用前景[J];兵工自动化;2003年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 卢学军;贾云海;冯利斌;李建钢;赵占海;;放电参数对PCD表层材料微观结构影响的实验研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 汤儆;表面金属纳米结构体系的电化学、STM针尖诱导和模板法构筑及其表征[D];厦门大学;2002年
3 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
4 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
5 胡玉景;超声振动—磨削—脉冲放电复合加工技术及其智能控制的研究[D];山东大学;2006年
6 方宇;液中放电沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 岑继文;新型高效微推进技术研究[D];中国科学技术大学;2008年
8 崔景芝;微细电火花加工的基本规律及其仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 郭锐;基于Linux的微细电火花加工数控系统及其相关关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
10 金柏冬;气中微细电火花沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 沈飞虎;材料微观结构对电火花微细加工的影响研究[D];大连理工大学;2010年
2 冀震晓;钛合金电火花加工脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 李智;单晶金刚石研磨方法与机理的研究[D];大连理工大学;2004年
4 刘忠炼;慢走丝电火花线切割机间隙控制系统的研究[D];南昌大学;2005年
5 井长胜;微细电火花放电状态智能检测方法及程序设计[D];大连理工大学;2006年
6 董德生;阵列轴孔的微细超声电火花复合加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 孙小兵;微型固体火箭发动机设计与制造关键技术研究[D];上海交通大学;2007年
8 徐超;MEMS固体微推进器的设计与制备[D];国防科学技术大学;2006年
9 张恒;电火花成形加工智能脉冲电源的研究[D];浙江工业大学;2008年
10 何赞;微推进器结构与制作工艺研究[D];南京理工大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 胡美些;王宁;;我国电铸技术的研究进展[J];电镀与涂饰;2006年11期
2 褚旭阳;狄士春;王振龙;;极性效应在微细电火花反拷加工中的应用[J];电加工与模具;2010年05期
3 文武;王西彬;龙震海;纪永宏;;QT700-2电火花加工工艺试验特征规律研究[J];工具技术;2008年11期
4 王丹;吴杰;顾琳;康小明;韦红雨;赵万生;;微晶云母陶瓷微型拉瓦尔喷管的超声加工关键技术[J];固体火箭技术;2010年06期
5 杜立群;莫顺培;张余升;刘冲;;UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构[J];光学精密工程;2010年02期
6 杨大勇;曹凤国;任连生;崔志成;刘萍;何花卉;;高精度电火花成形加工设备的研制[J];航空精密制造技术;2007年05期
7 蒋亨顺;马明峻;;特种加工技术在精密制造中的应用[J];新技术新工艺;2006年05期
8 郭帅;罗红平;郭钟宁;;微细电极在线制备技术的研究进展[J];制造技术与机床;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 赵万生;顾琳;郭锐;李刚;;微细电加工的最新发展与应用前景[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
2 赵万生;顾琳;郭锐;李刚;;微细电加工的最新发展与应用前景[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 禇旭阳;微细电火花集成加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 王延庆;钢表面凹坑纹理的制备及摩擦学性能研究[D];中国矿业大学;2010年
4 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
5 徐明刚;超声振动—气体介质电火花复合加工技术及机理研究[D];山东大学;2007年
6 郭锐;基于Linux的微细电火花加工数控系统及其相关关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
7 李刚;基于直线电机的微细电火花加工系统及其关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 李茂盛;五轴联动电火花加工机床及其复杂电极预装系统的研制[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 禇旭阳;微细电火花集成加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 黄河;基于内冲液旋转电极的电火花铣削机床与关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 殷国强;电火花加工微孔的深径比理论模型研究[D];大连理工大学;2010年
2 房长兴;倒置式微细电火花超声复合加工装置研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 鲁玉兰;基于PMAC的五轴电火花加工数控系统关键技术的研究[D];天津大学;2010年
4 刘华珍;基于PMAC的微细电火花成形加工数控系统的运动控制研究[D];上海交通大学;2011年
5 王磊;微细群孔电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
6 喻立川;微三维可动机构的制作研究[D];大连理工大学;2008年
7 薛宝;摩擦副表面微坑电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
8 王长法;微细电火花加工中的电极损耗补偿研究[D];上海交通大学;2009年
9 李振;基于静电感应的微细电火花加工方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
10 赵玉才;基于UG的微细电火花铣削技术及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 颜国正,赵国光,余承业;新型伺服驱动微型电加工系统的研究[J];电加工;1995年04期
2 李勇,胡敏,周兆英,郭,严晓敏,邹丽芸,巫仁智;采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置[J];电加工;1998年02期
3 颜国正,赵国光,余承业;微小型电火花加工系统性能研究[J];航空制造工程;1995年12期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张昭瑞;黄燕华;张林;袁光辉;朱磊;;实验用多微孔板的电火花加工[J];电加工与模具;2007年S1期
2 宋博岩;刘明宇;;微细电加工脉冲电源的研究进展[J];电加工与模具;2007年S1期
3 钱军,高长水,刘正埙;激波电火花复合微细孔加工试验研究[J];电加工与模具;1997年05期
4 胡敏,周兆英,李勇;微细电火花加工技术[J];仪器仪表与分析监测;1995年04期
5 金柏冬;曹国辉;王振龙;肖凯;赵万生;;空气中微细电火花沉积的工艺规律研究[J];中国机械工程;2006年02期
6 王钦峰;;高速铣削与电加工工艺组合应用[J];金属加工(冷加工);2011年10期
7 刘永红;第11届国际电加工学术讨论会(ISEM-11)论文名称及作者[J];电加工与模具;1995年04期
8 增泽隆久,陈典正;电火花微细加工[J];模具工业;1993年11期
9 李文卓;刘加光;于云霞;;微细电火花加工机床关键技术[J];机械工程学报;2007年01期
10 沈洪;王润仓;;625喷油嘴喷孔电火花加工专用机技术报告[J];电加工与模具;1990年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 梁速;徐辉;陈默;康小明;赵万生;卢智良;万符荣;吴强;吴国兴;朱宁;;5轴联动电火花加工数控系统研制[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
2 朱国征;黄永逸;卢有会;白基成;;去离子水工作液下微细阵列孔电火花加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 赵万生;郭永丰;耿春明;;国外电火花加工最新技术[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4 邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
5 张云鹏;孙广标;张安洲;;超声磨料对TC4钛合金电火花加工表面质量的影响[A];陕西省机械工程学会特种加工分会第九届学术年会论文集[C];2010年
6 任连生;郭妍;刘萍;庞宇;;电火花加工中专用步进电机控制系统研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
7 赵万生;康小明;郭常宁;奚学程;张亚欧;裴景玉;韦红雨;顾琳;;特种加工技术的研究进展[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
8 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;;细长型电火花工具电极的制作研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
9 王润仓;;高速电火花加工小孔的发展及应用实例[A];第六届全国电加工学术年会论文集[C];1989年
10 王津;韩福柱;卢建鸣;赵福令;;抬刀过程中加工屑运动规律的观察[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 杨红英;应急之需 新厂房为年产千台作保障[N];机电商报;2005年
2 王艳 赵峰;服务油泵油嘴行业 鲁南机床系列专机受青睐[N];机电商报;2008年
3 黄春韶;满足微细加工需求 平面磨床发展趋势明显[N];中国工业报;2007年
4 本报记者 兰海侠;电加工机床前景看好 国内电加工行业呼唤产业升级[N];机电商报;2008年
5 袁伟;一航黎阳转包生产进入快速发展期[N];中国航空报;2006年
6 本报记者 何人民;华工激光进军精密微细加工领域[N];中国工业报;2009年
7 叶甜春;90/65/45纳米半导体工艺——IT产业新的起跑线[N];计算机世界;2003年
8 金通证券 陈泳潮;G金果业绩回暖超跌严重[N];证券时报;2006年
9 刘献礼;PCBN刀具在中国市场的应用现状与思考[N];机电商报;2005年
10 本报记者 陈蕾;深耕十载 鲁南机床谋为发动机加工提供成套设备[N];机电商报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李磊;集束电极电火花加工性能研究[D];上海交通大学;2011年
2 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
3 郑新毅;深微孔电火花加工关键技术研究[D];大连理工大学;2010年
4 赵伟;电火花加工中电极蚀除及其理论基础的研究[D];西北工业大学;2003年
5 刘宇;微细电火花加工中集肤效应的影响机理及相关技术研究[D];大连理工大学;2011年
6 谷安;四轴电火花数控系统的开发及研究[D];南京航空航天大学;2002年
7 方宇;液中放电沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 张旻;电加工用Cu-ZrB_2复合镀层的制备及其电加工性能研究[D];大连理工大学;2006年
9 徐明刚;超声振动—气体介质电火花复合加工技术及机理研究[D];山东大学;2007年
10 金柏冬;气中微细电火花沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王辉;混粉电火花加工中粉末效应的研究[D];大连理工大学;2005年
2 袁方;电火花深孔套料加工研究[D];西安石油大学;2010年
3 殷国强;电火花加工微孔的深径比理论模型研究[D];大连理工大学;2010年
4 冀震晓;钛合金电火花加工脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 吴勇;复杂型面电火花加工CAM技术研究[D];上海交通大学;2011年
6 周燕;电火花加工金属钛的试验研究与计算机仿真[D];大连理工大学;2006年
7 张龙;混粉电火花加工及其镜面加工技术的实验研究[D];大连理工大学;2003年
8 武云霞;石墨电极电火花加工工艺研究[D];广东工业大学;2004年
9 王元刚;基于正交设计的混粉电火花加工技术仿真研究[D];大连理工大学;2005年
10 佟玉斌;便携式电火花加工机的研究[D];山东大学;2005年
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