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典型微机械材料的准分子激光加工特性

李晓莹  马炳和  苑伟政  
【摘要】:针对硅、聚合物和工程陶瓷等典型微机械材料 ,采用KrF准分子激光对其进行了加工技术研究 ,分析了加工规律 ,并探讨准分子激光最适宜的应用环境和条件

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1 姚英学;李德溥;冷金凤;袁哲俊;;SiC颗粒增强铝基复合材料铣磨加工特性的研究[A];2005年惯性器件材料与工艺学术研讨暨技术交流会论文摘要集[C];2005年
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