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微机械用材料及其特性

董海军  苑伟政  王西彬  张春江  
【摘要】:综述了硅材料、形状记忆合金、压电陶瓷、超磁致伸缩材料的微机械用材及其特性,并提出了微材料学概念,同时还介绍了微机械应用.

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