收藏本站
《航空精密制造技术》 2005年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

经济型微机电台阶测量仪的研究

李强  吴宇列  李圣怡  
【摘要】:针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的测头支撑机构,对运动平台存在的偏心作用力和振动噪声问题做了分析和研究,提出了有效的解决方案。

手机知网App
【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 李强;微机电台阶测量仪系统设计与研究[D];国防科学技术大学;2004年
2 郝斌魁;掺杂CeO_2电解质薄膜的磁控溅射制备工艺探索[D];大连理工大学;2006年
3 徐红;接触式台阶高度测量数据分析及处理系统研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 白立芬,李庆祥,薛实福,黄成伟;微细台阶测量技术的发展现状[J];电子工业专用设备;2001年02期
2 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
3 徐杜,蒋永平,周韶勇,林茗;全数字式步进电机连续细分方法与实现[J];微特电机;1997年02期
4 刘晓军,蒋向前,肖少军,谢铁邦,李柱;曲面形貌轮廓仪传感器的机构设计[J];现代计量测试;1997年03期
5 曾鸣,王景贺,张健,苏宝库;转台测角系统标定方法的研究[J];中国惯性技术学报;1998年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 马官营;颜国正;于莲芝;施建;;人体消化道内微机电系统线圈耦合系数分析[J];北京生物医学工程;2006年05期
3 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
4 徐鹏,祖静,林祖森;微加速度计的力学分析[J];传感器技术;2002年06期
5 李新,唐祯安,徐军;用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J];材料研究学报;2004年06期
6 陈仲华;论 PLC —步进式水轮机调速器适用性[J];电力系统自动化;1997年11期
7 陈仲华,曾继伦,邵宜祥;论水轮机调速器模式选择[J];电力系统自动化;1999年04期
8 邓燕妮;章烈剽;;基于单片机的步进电机细分技术研究[J];电子科技;2007年05期
9 华蕊;步进电机细分驱动技术综述[J];佛山科学技术学院学报(自然科学版);1999年03期
10 周莉莉,赵学增;表面粗糙度的激光及相关在线测量方法[J];激光杂志;2004年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王立鼎;;中国MEMS的研究与开发进程(简稿)[A];MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 梁军生;微型直接甲醇燃料电池结构、工艺及阳极气液输运研究[D];大连理工大学;2007年
2 王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
3 王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
4 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
5 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
6 赵现朝;Stewart结构六维力传感器设计理论与应用研究[D];燕山大学;2003年
7 刘薇娜;冰盘纳米抛光金属材料的研究[D];吉林大学;2004年
8 尹自强;超精密直线度测量及表面微观形貌分析研究[D];国防科学技术大学;2003年
9 曹彬;微通道反应器的传递和反应特性[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
10 白兰;基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宫献华;微尺度流动阻力特性的研究[D];浙江大学;2007年
2 陈国强;基于GPS标准体系的表面微观形貌三维表征研究[D];南京农业大学;2007年
3 杨庆凤;基于DSP的公路划线车喷头定位系统研究[D];南京农业大学;2007年
4 林胜勇;MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究[D];西北工业大学;2001年
5 于万海;步进电机细分驱动及微步距角测量修正系统的研究[D];河北农业大学;2002年
6 王英翘;三维微操作运动及定位控制的研究[D];大连理工大学;2002年
7 宋展;显微图象特征匹配与三维显示初步研究[D];大连理工大学;2003年
8 陈玉龙;多维并联式力传感器的性能分析与应用研究[D];燕山大学;2003年
9 李楠;光学针描法表面粗糙度测量系统关键技术的研究[D];河北工业大学;2003年
10 张靖;步进电机细分驱动器的研究[D];河北农业大学;2003年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李国林,张旭,赵曦,施聚生;电容传感器灵敏度与结构关系研究[J];兵工学报;2000年04期
2 方培生,郑建标,谢胜利;螺管型电感传感器的研制与应用[J];传感技术学报;2002年03期
3 白立芬,李庆祥,薛实福,黄成伟;微细台阶测量技术的发展现状[J];电子工业专用设备;2001年02期
4 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
5 陈镇平,刘强;不确定度表示体系的误差分析和数据处理方法[J];工科物理;1999年05期
6 汤安东,王秋花,郑月景,刘瑞川;玻璃基片上SiO_2膜层厚度的测量方法[J];光学技术;1999年06期
7 李成贵,董申;3D表面粗糙度的测量方法分析[J];航空精密制造技术;1999年02期
8 高天国,高亚茹,谭光恒;差动式磁芯型电感测微仪系统工作原理的分析研究与应用[J];计量技术;2002年10期
9 王世华,周肇飞,周卫东,迟桂纯;便携式激光表面粗糙度测量仪[J];计量学报;1997年01期
10 白立芬,李庆祥,于水,薛实福;十字片簧弹性支承机构的设计[J];机械设计;2001年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 韩敏芳;尹会燕;唐秀玲;彭苏萍;;固体氧化物燃料电池发展及展望[A];特种陶瓷及金属封接技术基础和应用研讨会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 刘旭俐;固体氧化物燃料电池CeO2基电解质的制备[D];昆明理工大学;2001年
2 柳忠尧;用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究[D];清华大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 肖虹;激光干涉式大量程表面轮廓仪的研制[D];华中科技大学;2004年
2 李强;微机电台阶测量仪系统设计与研究[D];国防科学技术大学;2004年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 徐红;接触式台阶高度测量数据分析及处理系统研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王立鼎,吴一辉;抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展[J];中国机械工程;1999年02期
2 王宗培,郑大鹏,李春雨;步进电动机微步距角的测量[J];微特电机;1995年04期
3 钱昱明,候惠芳;步进电机可变细分SPWM运行方法[J];微特电机;1995年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 方宗霖;;多功能的电子数字显示卡尺[J];机械工人.冷加工;1987年06期
2 穆荣光;三等分内圆台阶测量检具[J];机械工人.冷加工;1992年10期
3 李庆祥,薛实福,王伯雄,徐毓娴;DXY-1型线宽轮廓测量仪的设计[J];仪器仪表学报;1992年02期
4 王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英;智能化的微细台阶测量系统[J];仪器仪表学报;1996年S1期
5 王云庆,李庆样,周兆英;微细台阶测量中的非线性误差及消除[J];机电工程;1996年01期
6 王云庆,李庆祥,周兆英;亚微米微位移工作台升降模糊控制系统[J];清华大学学报(自然科学版);1998年02期
7 王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英;LSI 薄膜台阶测量仪的研制[J];仪器仪表学报;1998年03期
8 白立芬,李庆祥,薛实福,于水;基于LVDT的台阶信号拾取方法研究[J];仪表技术与传感器;2000年07期
9 李强,吴宇列,李圣怡;经济型微机电台阶测量仪的研究[J];航空精密制造技术;2005年03期
10 于瀛洁,孙流星;基于波长移相干涉的台阶测量技术[J];测试技术学报;2005年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李强;微机电台阶测量仪系统设计与研究[D];国防科学技术大学;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026