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装置器壁烘烤出气与辉光放电清洗出气研究

王志文  韦卫星  赵元庆  何燕和  廖义奎  
【摘要】:建立了烘烤出气和辉光放电清洗(GDC)出气的物理模型,研究了装置器壁的烘烤出气和辉光放电清洗出气特点。烘烤出气是体出气,出气过程满足扩散方程;GDC出气是溅射脱附过程,它主要是器壁表面的溅射诱导出气。由此分析了HL-1M装置的烘烤出气和辉光放电清洗出气特点,得出了一些经验公式。

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