收藏本站
《化工新型材料》 1988年02期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

用硅橡胶膜回收氟利昂

汝洋  
【摘要】:正 膜分离技术已广泛用于工业。在半导体工业中,有大量氟利昂(Freon)气体用于清洗和制作等离子蚀刻混合物等,可用膜技术回收半导体工业中的溶剂,这是一种很有潜力的应用。在实验室里曾测定了硅橡胶膜对各种氟里昂气体的透过率。根据这些数据,提出了一个可用于回收和再循环等离子蚀刻的Fr-

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 N.V.Bhat;是润淦;;氮等离子体对柞蚕丝及其织物的形态和有关纺织性能的影响[J];国外纺织技术;1981年28期
2 沈其文 ,李爱群 ,王维聪 ,曹文龙;V法喷涂成膜的实用性研究[J];华中科技大学学报(自然科学版);1982年03期
3 ;国外动态[J];合成橡胶工业;1982年02期
4 三友;;半导体用高纯气体[J];化工新型材料;1982年04期
5 陈葆新;;用戊烷作冷冻干燥猪肉的(酉合)败指标[J];食品研究与开发;1982年01期
6 苏威;;三氟化氮在等离子蚀刻方面的应用[J];无机盐工业;1983年01期
7 冈田隆;李文洙;;半导体工业中气体的应用技术[J];低温与特气;1983年01期
8 谢征校;;用硅窗气调法炉藏果菜保鲜[J];农业工程技术.温室园艺;1983年03期
9 苏梅英;瞿德兴;郭开慧;郑康祺;乌长泳;;复38-4硅橡胶压延型薄膜的研制[J];化工新型材料;1985年07期
10 陈震星;;提高材料表面性能的新工艺—离子蚀刻[J];粘接;1985年03期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 段敬来;刘杰;姚会军;侯明东;孙友梅;宋银;莫丹;王志光;;重离子蚀刻径迹中钴纳米线阵列的制备与研究[A];第二届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2005年
2 张伟;;紫外激光对高密度柔性线路板进行加工处理[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
3 王力元;郭昕;褚战星;;一种新型193nm正型光致抗蚀剂研究[A];中国感光学会第七次全国会员代表大会暨学术年会和第七届青年学术交流会论文摘要集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 张士罡 金丽 仇超;食用菌保鲜法[N];福建科技报;2002年
2 刘盈;食用菌保鲜妙法多[N];中国特产报;2004年
3 杜若;食用菌保鲜有妙方[N];云南日报;2004年
4 金济;食用菌保鲜法[N];兵团日报(汉);2005年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 伍勇;细胞循环硅橡胶膜生物反应器连续乙醇发酵动力学模型研究[D];四川大学;2004年
2 钟月华;新型硅橡胶膜生物反应器制造乙醇连续发酵动力学研究[D];四川大学;2003年
3 郭志良;周期性张应变对椎间盘纤维环细胞蛋白多糖表达的影响及其信号转导的探讨[D];第三军医大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 徐怀东;新型硅橡胶膜在乙醇连续发酵生产中的应用及其渗透蒸发性能评价研究[D];四川大学;2003年
2 叶立;硅橡胶膜生物反应器乙醇连续发酵实验及其冷凝系统的能耗分析[D];四川大学;2003年
3 余祥正;有机—无机杂化膜材料的研究[D];暨南大学;2005年
4 王志强;PDMS/PS复合中空纤维膜处理含酚废水的研究[D];大连理工大学;2006年
5 谈跃;膜萃取处理高浓度苯酚废水[D];大连理工大学;2006年
6 许少波;中空纤维膜的涂敷及用于人工肺膜组件的性能评价[D];暨南大学;2006年
7 刘子琪;聚醚酰亚胺多孔支撑膜的涂覆与富氧性能研究[D];暨南大学;2006年
8 吴丽丽;膜萃取处理高浓度苯胺废水[D];大连理工大学;2007年
9 殷国监;硅橡胶膜膜萃取处理高浓度含酚废水[D];大连理工大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026