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《中国石油和化工标准与质量》 2012年09期
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降低合成氯硅烷中B、P杂质含量的工艺研究

张虎  王航舟  秦西鸣  郑斌  
【摘要】:采用流化床的方法,生产出了氯硅烷(三氯氢硅和四氯化硅的混合物)。氯硅烷是制备多晶硅的重要原料,其中合成氯硅烷中B、P杂质含量是影响多晶硅质量的重要因素,严重影响多晶硅的质量指标。通过采用icp-ms对合成物料中B、P杂质含量的测试。结果表明,当合成氯硅烷通过吸附装置后,B、P杂质含量能得到大范围的下降,并且在通过吸附柱的氯硅烷流量在1.2m3/h、压力为0.35MPa时B、P杂质含量趋于稳定。
【作者单位】陕西天宏硅材料有限责任公司;
【分类号】:TQ264.1

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