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《合肥工业大学学报(自然科学版)》 2005年10期
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DC反应磁控溅射制备VO_2薄膜及XPS分析

陈庆连  陈长琦  王君  方应翠  王旭迪  
【摘要】:文章通过改变玻璃基温度和靶基间距,采用m(O2)/m(A r)为1∶12.5,溅射功率为190 W,工作真空度为2.2 Pa,用DC磁控溅射法在玻璃基上沉积VO2薄膜,并经真空退火处理,制备的试样通过XPS测试分析薄膜表面的元素组成及成分。测试分析结果表明,基片温度在室温或超过350℃,易于生成VO2薄膜,真空退火可以显著改善制备薄膜的氧缺陷,提高V与O的化学计量比。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 杨爱国;杨子健;杨建红;冯浩;李冠斌;崔敬忠;;掺杂氧化钒薄膜的制备及其热光特性[J];半导体光电;2008年02期
2 杨子健;杨爱国;杨建红;冯浩;李冠斌;崔敬忠;;掺杂VO_2薄膜的制备及其光电性质[J];半导体技术;2009年02期
3 陈学荣;胡军志;韩文政;;VO_2薄膜的结构、光学特性及其应用研究进展[J];材料导报;2007年11期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 宋晶晶;张津;杨栋华;;溅射法制备VO_2薄膜的研究现状[A];2007高技术新材料产业发展研讨会暨《材料导报》编委会年会论文集[C];2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 陈庆连;反应磁控溅射制备VO_2薄膜及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年
2 杨爱国;磁控溅射法制备氧化钒薄膜及其特性研究[D];兰州大学;2008年
3 赵健;反应磁控溅射法制备VO_2薄膜及其相变特性研究[D];暨南大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张弛,刘梅冬,曾亦可,刘少波,黄焱球;VO_2薄膜的研究和应用进展[J];材料导报;2003年S1期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 金力成;金波;;金属薄膜的质量造成电阻器失效的分析[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年05期
2 孟影;金绍维;;La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜厚度引起的电阻率变化[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年03期
3 闫金良;低翘曲度ITO透明导电膜玻璃的工艺研究[J];半导体光电;2004年05期
4 杨爱国;杨子健;杨建红;冯浩;李冠斌;崔敬忠;;掺杂氧化钒薄膜的制备及其热光特性[J];半导体光电;2008年02期
5 陈超;蒋亚东;吴志明;;氧化钒薄膜电阻伏安特性分析[J];半导体光电;2008年05期
6 陈蒲生,张昊,冯文修,刘剑,刘小阳,王锋;PECVD法低温形成SiO_xN_y介质膜的俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析[J];半导体技术;2002年07期
7 成传品;唐明华;叶志;钟向丽;郑学军;周益春;;(Bi,Yb)_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备[J];半导体技术;2006年08期
8 何云富;徐刚;朱俊;陈德明;王春平;;VO_2热色智能玻璃研究进展[J];微纳电子技术;2008年07期
9 李伟,李国新,焦清介,刘淑珍;真空蒸镀太安成膜机理分析[J];兵工学报;2001年03期
10 杨克涛,陈光辉;AlN薄膜的研究进展[J];山东陶瓷;2005年01期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 王东;路建军;齐宏进;;防水透湿织物上碳氟膜的纳米结构及均匀性的初步研究[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
2 杨云志;冉均国;郑昌琼;;磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的工艺与性能的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
3 曾武贤;谢泉;梁艳;张晋敏;肖清泉;杨吟野;任学勇;;不同溅射气压对β-FeSi_2形成的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
4 韩向宇;张祖伟;胡陈果;;管径对碳纳米管膜激活能的影响[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
5 付光宗;杨丰帆;杨小红;廖克俊;刘高彬;;超薄铝膜的制备与透光率的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
2 汤如俊;小颗粒CoPt单层和双层垂直磁记录介质研究[D];电子科技大学;2010年
3 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
4 刘一婷;基于酞菁铜的太阳能电池的研究[D];大连理工大学;2011年
5 李幼真;纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究[D];中南大学;2011年
6 鲁永芳;金属钛膜中氢对氦行为作用和影响的研究[D];复旦大学;2011年
7 张丽;Fe基双相纳米复合材料的制备与高频性能的研究[D];电子科技大学;2011年
8 张磊;有机电致发光显示屏的制备及其漏电流研究[D];电子科技大学;2010年
9 杨田林;Zn_3N_2薄膜及AZO/Cu/AZO多层薄膜的制备与特性研究[D];天津大学;2010年
10 吴芳;Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 王博;辐射桥面发射激光器工艺与测试[D];长春理工大学;2010年
3 位永平;非晶InSb探测器材料光电特性研究[D];长春理工大学;2010年
4 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
5 贾林涛;折射率调制光纤气体传感系统设计与研究[D];郑州大学;2010年
6 郭东歌;基于LPFGs氢敏探测器的研究[D];郑州大学;2010年
7 荣英凤;BDT铁电薄膜和ZnO纳米带压电性能的测试与表征[D];湘潭大学;2010年
8 许旺;IC互连碳纳米管关键技术研究[D];天津理工大学;2010年
9 纪红;适于SAW器件“AlN/硅”“AlN/金刚石”多层膜制备及结构性能研究[D];天津理工大学;2010年
10 方雪冰;CPA型磁控溅射设备靶改进及磁场模拟分析研究[D];电子科技大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李锦;魏红莉;何峰;;VO_2薄膜智能玻璃的研究进展[J];玻璃;2006年01期
2 江少群,马欣新,孙明仁;溶胶-凝胶制备二氧化钒薄膜的价态研究[J];中国表面工程;2005年02期
3 张弛,刘梅冬,曾亦可,刘少波,黄焱球;VO_2薄膜的研究和应用进展[J];材料导报;2003年S1期
4 马红萍,徐时清;V_2O_5熔化成膜法制备VO_2薄膜[J];稀有金属材料与工程;2004年03期
5 王银玲,李美成,赵连城;磁控溅射氧化钒薄膜的相成分及电阻-温度特性[J];稀有金属材料与工程;2005年07期
6 黄维刚;林华;范樵乔;涂铭旌;;掺Mo纳米VO_2粉体的相变特性研究[J];稀有金属材料与工程;2006年10期
7 ;Synthesis and Characterization of Tungsten Doped Vanadium Dioxide Nanopowders by Thermolysis[J];Chinese Chemical Letters;2006年10期
8 沈楠,王双保,黄光,李毅,易新建;低温热致变色VO_2薄膜的制备及应用[J];光电子·激光;2005年10期
9 卢勇,林理彬,邹萍,卢铁城,何捷;1.7MeV电子束在VO_2热致相变薄膜中引起的结构和光电性能的变化[J];功能材料;2001年05期
10 袁宁一,李金华,林成鲁;氧化钒薄膜的结构、性能及制备技术的相关性[J];功能材料;2001年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 林华;黄维刚;涂铭旌;;VO_2的相变原理及影响相变的因素[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 马兰;杨绍利;高仕忠;;MoO_3含量对VO_2薄膜电阻率变化的影响[J];功能材料;2010年S2期
2 张鹏;路远;;VO_2薄膜研究进展与发展趋势[J];兵器材料科学与工程;2012年04期
3 王淑云;刘旭;郭延龙;陆益敏;黄国俊;程勇;;激光法制备二氧化钒军事防护薄膜研究[J];应用激光;2012年01期
4 晏伯武;;二氧化钒薄膜的掺杂改性及制备[J];中国陶瓷;2009年10期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 吴传贵;BST热释电薄膜材料及在红外探测器中的应用基础研究[D];电子科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈康;太赫兹波段异向介质调制器与吸收器的研究[D];电子科技大学;2011年
2 韦晓莹;基于VO_X薄膜的电致阻变特性的研究[D];天津理工大学;2011年
3 黄章立;低相变温度VO_2薄膜的制备[D];华中科技大学;2011年
4 郝继;基于二氧化钒相变的二维可调带隙光子晶体[D];华中科技大学;2011年
5 黄海燕;溅射氧化耦合法合成W掺杂VO_2纳米薄膜及其性质的研究[D];东华大学;2012年
6 陈爽;反应磁控溅射制备掺钨氧化钒薄膜的研究[D];中南大学;2008年
7 周莉;掺杂二氧化钒超细粉体的制备及性能研究[D];大连理工大学;2010年
8 李彦彩;氧化钒薄膜的制备及特性研究[D];北京交通大学;2010年
9 龙航宇;热致变色钒氧化物膜的制备、结构与性能的研究[D];中南大学;2010年
10 邵林飞;掺杂VO_x薄膜制备及其性能研究[D];合肥工业大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙志君;红外焦平面阵列技术的发展现状[J];半导体光电;2000年S1期
2 李华高,杨子文,刘爽;非制冷红外探测器用VO_x薄膜的制备[J];半导体光电;2001年01期
3 陈海生;非致冷红外焦平面热成像技术的进展[J];光机电信息;2002年03期
4 赵康,魏建锋,孙军,谷臣清;溶胶凝胶法制备VO_2薄膜的组织与性能研究[J];功能材料;2002年01期
5 尹大川,许念坎,刘正堂,张晶宇,郑修麟;VO_2薄膜的主要制备工艺参数研究[J];功能材料;1997年01期
6 葛欣,尚志航,秦岩,卢志玉;氢水平衡法制备二氧化钒薄膜及XPS能谱分析[J];光谱实验室;2002年06期
7 刘金城,鲁建业,田雪松,掌蕴东,袁萍,贾晓玲,王骐;磁控溅射法制备二氧化钒薄膜最佳参量的研究[J];光子学报;2003年01期
8 ;用VO_2反射镜对激光振荡脉冲前沿整形[J];激光与光电子学进展;1999年10期
9 卢勇,林理彬;真空还原制备的VO_2热致相变薄膜光学性质研究[J];激光杂志;2001年03期
10 卢勇,林理彬,邹萍,何捷,王鹏;价态和结构对VO_2薄膜热致相变光电性能的影响[J];人工晶体学报;2001年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱昌;朱春燕;;磁控反应溅射沉积AlN薄膜的制备工艺[J];西安工业大学学报;2008年01期
2 江美福,宁兆元;反应磁控溅射法沉积的氟化类金刚石薄膜的结构分析[J];功能材料;2004年01期
3 马大衍,马胜利,徐可为,S.Veprek;反应磁控溅射制备Ti-Si-N薄膜的摩擦磨损性能[J];中国有色金属学报;2004年08期
4 胡云慧,彭传才,黄广连;反应磁控溅射沉积ITO膜工艺稳定性的研究[J];真空;1999年02期
5 江美福,宁兆元;氟化类金刚石薄膜的拉曼和红外光谱结构研究[J];物理学报;2004年05期
6 黄金昭;徐征;李海玲;亢国虎;王文静;;氧化铁镍薄膜的制备与表征[J];光电子.激光;2007年04期
7 谭永胜;龚恒翔;方泽波;;反应磁控溅射法制备TiO_2薄膜[J];绍兴文理学院学报(自然科学版);2007年02期
8 李静;王智勇;何山;望咏林;武建华;陈洁;温培刚;;柔性基底AZO薄膜制备及其红外发射率身性能研究[J];材料工程;2009年S1期
9 应春,沈杰,陈华仙,杨锡良,章壮健;ZnO∶Al透明导电薄膜的研制[J];真空科学与技术学报;1998年02期
10 朱家俊;周灵平;刘新胜;彭坤;李德意;李绍禄;;双靶反应磁控溅射共沉积AlN薄膜粘结性能研究[J];人工晶体学报;2010年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈长琦;陈庆连;王君;方应翠;王旭迪;;影响反应磁控溅射法制备VO_2薄膜的各种因素[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
2 陈庆连;陈长琦;方应翠;王君;王旭迪;;影响反应磁控溅射制备VO_2薄膜的各种因素[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
3 焦斌;;500立升异形中空MC尼龙制品双向回转成型工艺研究[A];第十一届玻璃钢/复合材料学术年会论文集[C];1995年
4 杨志清;;竹浆纤维织物的开发[A];“云竹杯”首届中国竹纤维产业发展峰会论文集[C];2007年
5 刘会平;南庆贤;马长伟;郝林;马丽珍;;不同工艺参数对Mozzarella干酪质构和功能特性的影响[A];中国食品科学技术学会第五届年会暨第四届东西方食品业高层论坛论文摘要集[C];2007年
6 梁方阁;程隆棣;刘燕;刘小珍;邵楠;;喷气涡流纺纺纱工艺参数优化设计[A];2008全国现代纺纱技术研讨会论文集[C];2008年
7 刘江坚;;气流染色的过程受控[A];第七届全国染色学术研讨会论文集[C];2009年
8 刘宝华;;液化石油气贮罐埋弧自动焊焊接工艺浅析[A];第十五次全国焊接学术会议论文集[C];2010年
9 王庐;贾小东;刘礼;;发动机汽缸罩盖平面度影响因素及控制[A];2008重庆市铸造年会论文集[C];2008年
10 蒋少军;丁丽文;;纯毛麦尔登缩呢工艺的探讨[A];第六届全国印染后整理学术研讨会论文集[C];2005年
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1 记者 朱磊;欣弗药品不良事件调查结果出炉[N];法制日报;2006年
2 胡晓玉;“我们就需要这样的产品”[N];中国纺织报;2007年
3 纪合聚 王伟;东佳纺机FA206B系列高速高产梳棉机[N];中国纺织报;2007年
4 李保友胡传玲;金沂蒙污水处理系统入倍增计划[N];农资导报;2008年
5 国家食品药品监督管理局药品审评中心 提供;化药仿制药研究和评价[N];中国医药报;2009年
6 杨红博 李咸伟 俞勇梅 何晓蕾;调整工艺参数 实现源头减排[N];中国冶金报;2011年
7 浙江中新毛纺织有限公司 李茹珍;牛奶蛋白纤维、PTT、羊绒混纺纱的生产实践(上)[N];中国纺织报;2008年
8 尹卫国;将监管不力归咎于市场经济实属谬论[N];中国企业报;2006年
9 ;美国Beta钢公司热带轧机现代化改造[N];世界金属导报;2007年
10 杨雄飞;石油天然气工业用新钢板[N];世界金属导报;2007年
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1 计道珺;气凝胶催化剂规模化制备多壁碳纳米管的研究[D];武汉科技大学;2005年
2 王贺权;太阳电池减反射薄膜的研究[D];东北大学;2005年
3 佟洪波;反应磁控溅射制备AlN薄膜及其发光性能研究[D];东北大学;2008年
4 江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
5 陈远龙;电解加工工艺参数数据库及电解加工基本工艺规律研究[D];合肥工业大学;2000年
6 杨绍利;VO_2薄膜制备及其应用性能基础研究[D];重庆大学;2003年
7 李辉平;淬火过程有限元模拟关键技术及工艺参数优化的研究[D];山东大学;2005年
8 李颂;镁合金微弧氧化膜的制备、表征及其性能研究[D];吉林大学;2007年
9 徐静;磁控溅射SiO_2基LaB_6薄膜的制备工艺及性能[D];山东大学;2009年
10 李祥友;激光微细熔覆电子浆料柔性布线技术与设备[D];华中科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郝建军;液体磁性磨具光整加工实验装置的研制与开发[D];太原理工大学;2005年
2 郑伟;微注塑成型工艺的模拟分析与试验研究[D];大连理工大学;2006年
3 廖相巍;电弧喷涂NiCr合金涂层的研究与应用[D];辽宁科技大学;2007年
4 程操宇;高速铣削的工艺技术研究[D];吉林大学;2007年
5 刘畅;用高岭土制备聚合氯化铝(PAC)的研究[D];兰州理工大学;2007年
6 王玉;模具高速铣削的工艺参数研究[D];吉林大学;2007年
7 张华顺;激光表面熔凝处理对铸造Al-Si合金的表层组织及疲劳裂纹扩展行为的影响[D];郑州大学;2007年
8 江敏;速冻马铃薯新产品和新工艺的研究[D];湖南农业大学;2007年
9 王艳艳;利用磷石膏合成硅灰石的研究[D];武汉理工大学;2008年
10 金昊;热锻模模膛等离子熔覆SiC耐热层的应用基础研究[D];武汉理工大学;2008年
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