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《合肥工业大学学报(自然科学版)》 1990年02期
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类金刚石碳膜及其在仪表元件上的应用

宋权  
【摘要】:正类金刚石碳膜是一种新的高技术功能薄膜材料,具有类似金刚石的优异特性,在电子、光学、化工、机械、仪表等领域具有广阔的应用前景。我校物理系毛友德、刘声雷在机电部机械工业技术发展基金支持下,从1986年1月起开展了这个项目的研究工作。经过近3年的努力,取得了较好的成果。他们采用高频等离子体化学气相淀积方法,并研制了相应的设备

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