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一种新型可调式微机械光衰减器

杨震  李国栋  彭德艳  忻佩胜  赖宗声  朱自强  
【摘要】:讨论基于抗反射结构(Mechanical Anti-Reflection Structure,MARS)的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法,研制了一种工作在1320-1550nm波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制各该衰减器使用常规的硅平面工艺,制作简单,成本较低.器件体积小,响应速度快,可适应日益增长的波分复用(wavelength division multiplex,WDM)全光网的发展.

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