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压电式微驱动器的应用研究

杨旭霞  陈道炯  单世宝  高春雨  韦光辉  
【摘要】:在分析常用微驱动器的基础上,设计了一种压电式微驱动器,采用柔性铰链机构实现无机械摩擦、无间隙的高灵敏度微驱动,利用柔性铰链杠杆放大原理增加了叠层式压电陶瓷位移输出,满足了在激光测量系统中作为移相器的工作要求.文章对柔性铰链机构进行了理论分析,建立了数学模型,采用有限元分析方法优化了机构的结构参数.

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